MEMS传感器设备和感测方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202510528883.1
申请日
2025-04-25
公开(公告)号
CN120864438A
公开(公告)日
2025-10-31
发明(设计)人
M·哈斯勒 A·博格纳 P·格雷纳 A·韦斯鲍尔
申请人
英飞凌科技股份有限公司
申请人地址
德国诺伊比贝尔格
IPC主分类号
B81B7/02
IPC分类号
G01D5/24
代理机构
北京市金杜律师事务所 11256
代理人
李兴斌
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
感测芯片及MEMS传感器 [P]. 
邱冠勋 ;
周宗燐 .
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传感器、多通道传感器、感测设备和感测方法 [P]. 
纳谷昌之 ;
谷武晴 .
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[3]
传感器和感测方法 [P]. 
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传感器系统和感测方法 [P]. 
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