MEMS氢传感器及氢感测系统

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202110614479.8
申请日
2021-06-02
公开(公告)号
CN114152649A
公开(公告)日
2022-03-08
发明(设计)人
金东求 金炫秀 俞一善
申请人
申请人地址
韩国首尔
IPC主分类号
G01N2712
IPC分类号
G01N3110 G01N3112 B81B700 B81B702
代理机构
北京路浩知识产权代理有限公司 11002
代理人
崔龙铉;赵赫
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
感测芯片及MEMS传感器 [P]. 
邱冠勋 ;
周宗燐 .
中国专利 :CN112822616A ,2021-05-18
[2]
氢传感器 [P]. 
内山直树 ;
松本博幸 ;
中林正刚 .
中国专利 :CN101449147A ,2009-06-03
[3]
氢传感器 [P]. 
宫照霞 .
中国专利 :CN301043935D ,2009-10-21
[4]
氢传感器 [P]. 
I·帕弗洛弗斯基 ;
R·L·芬克 ;
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[5]
氢传感器 [P]. 
植田敏嗣 ;
大井川宽 .
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[6]
氢传感器 [P]. 
内山直树 ;
吉村和记 .
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[7]
氢传感器 [P]. 
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伊藤理 ;
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[8]
氢传感器 [P]. 
R·沙勒 ;
K·伊利安 .
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[9]
MEMS传感器设备和感测方法 [P]. 
M·哈斯勒 ;
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[10]
测氢压力传感器 [P]. 
黎卓韬 ;
陈晨 ;
陈玉柱 .
中国专利 :CN212432400U ,2021-01-29