硅片测量方法及系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411665461.0

申请日：

2024-11-20

公开(公告)号：

CN119650450B

公开(公告)日：

2025-10-17

发明(设计)人：

李安杰兰洵张婉婉李彤

申请人：

西安奕斯伟材料科技股份有限公司

申请人地址：

710065 陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室

IPC主分类号：

H01L21/66

IPC分类号：

代理机构：

北京布瑞知识产权代理有限公司 11505

代理人：

张帆

法律状态：

公开

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-18	公开	公开
2025-04-04	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/66申请日:20241120
2025-10-17	授权	授权

共 50 条

[1]

硅片测量方法及系统 [P].

李安杰 ;

兰洵 ;

张婉婉 ;

李彤 .

中国专利 :CN119650450A ,2025-03-18

[2]

测量方法及测量系统 [P].

张孟卓 ;

薛霞铭 ;

谷文举 ;

张丽炜 ;

曹倩 ;

陈纪喆 .

中国专利 :CN120594335A ,2025-09-05

[3]

测量方法及测量系统 [P].

易致礼 ;

沈晴鹤 ;

张骏 .

中国专利 :CN115143883A ,2022-10-04

[4]

测量系统及测量方法 [P].

高明祺 ;

林毅俊 ;

王顺星 ;

陈柏徵 .

中国专利 :CN102269643A ,2011-12-07

[5]

测量系统及测量方法 [P].

张泓恺 ;

苏忠耀 ;

张秋贤 .

中国专利 :CN103575983B ,2014-02-12

[6]

测量系统及测量方法 [P].

陈鲁 ;

尉佩 ;

马砚忠 .

中国专利 :CN120868891A ,2025-10-31

[7]

测量系统及测量方法 [P].

刘小明 ;

俞俊生 ;

陈晓东 ;

姚远 ;

亓丽梅 ;

陈智娇 ;

王海 ;

单广帅 ;

许仁杰 .

中国专利 :CN105974201A ,2016-09-28

[8]

测量系统及测量方法 [P].

李宜音 ;

张增怡 .

中国专利 :CN115561567A ,2023-01-03

[9]

测量系统及测量方法 [P].

桥村义人 ;

藤原祥持 ;

数原悠太 .

中国专利 :CN114008482A ,2022-02-01

[10]

测量方法及测量系统 [P].

刘海珂 ;

曹君 ;

朴凯 ;

张亚军 ;

张永胜 ;

路宏杰 ;

肖兰 ;

夏君 .

中国专利 :CN120489068A ,2025-08-15

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