共 50 条
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成膜装置及び成膜装置の処理方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20220019519
申请日：
2022-02-10
公开(公告)号：
JP7749484B2
公开(公告)日：
2025-10-06
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/205
IPC分类号：
C23C16/44
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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