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氮化铝真空探测器及其制备方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510183443.7
申请日：
2025-02-19
公开(公告)号：
CN120051058B
公开(公告)日：
2025-11-21
发明(设计)人：
赵德刚 赵全普 孙兆兰 杨静 梁锋 侯玉菲 杨倩 刘宗顺 陈平
申请人：
中国科学院半导体研究所
申请人地址：
100083 北京市海淀区清华东路甲35号
IPC主分类号：
H10F77/20
IPC分类号：
H10F30/227 H10F30/222 H10F71/00 C23C16/18 C23C16/34
代理机构：
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人：
李婉婉
法律状态：
公开
国省代码：
北京市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-05-27 公开 公开
2025-06-13 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):H10F 77/20申请日:20250219
2025-11-21 授权 授权
共 50 条
[1]
氮化铝真空探测器及其制备方法 [P]. 
赵德刚 ;
赵全普 ;
孙兆兰 ;
杨静 ;
梁锋 ;
侯玉菲 ;
杨倩 ;
刘宗顺 ;
陈平 .
中国专利 :CN120051058A ,2025-05-27
[2]
基于异质结的氮化铝真空探测器及其制备方法 [P]. 
赵全普 ;
赵德刚 ;
孙兆兰 ;
杨静 ;
梁锋 ;
侯玉菲 ;
杨倩 ;
刘宗顺 ;
陈平 .
中国专利 :CN120051057A ,2025-05-27
[3]
氮化铝真空探测器及其制备方法 [P]. 
孙兆兰 ;
赵德刚 ;
刘冰 ;
杨静 ;
梁锋 ;
刘宗顺 ;
陈平 ;
郑福 .
中国专利 :CN119050173A ,2024-11-29
[4]
基于PN异质结的氮化铝真空探测器及其制备方法 [P]. 
赵德刚 ;
孙兆兰 ;
杨静 ;
梁锋 ;
刘宗顺 ;
陈平 .
中国专利 :CN118231511A ,2024-06-21
[5]
基于肖特基结构的氮化铝真空探测器及制备方法 [P]. 
赵德刚 ;
孙兆兰 ;
杨静 ;
梁峰 ;
刘宗顺 ;
陈平 .
中国专利 :CN118507579A ,2024-08-16
[6]
一种基于氮化铝的真空紫外探测器及其制备方法 [P]. 
唐红雨 ;
施伟琪 ;
李绍娟 ;
张国旗 .
中国专利 :CN121174617A ,2025-12-19
[7]
行列扫描式氮化铝基真空紫外光电探测器阵列及其制备方法 [P]. 
郑伟 ;
林卓耿 .
中国专利 :CN121013427A ,2025-11-25
[8]
用于氮化铝真空探测器制备的环境控制方法及系统 [P]. 
刘冰 ;
郑福 ;
唐翔 ;
刘雪峰 ;
傅雨婷 ;
孙兆兰 .
中国专利 :CN119126573A ,2024-12-13
[9]
用于氮化铝真空探测器制备的环境控制方法及系统 [P]. 
刘冰 ;
郑福 ;
唐翔 ;
刘雪峰 ;
傅雨婷 ;
孙兆兰 .
中国专利 :CN119126573B ,2025-09-30
[10]
一种氮化铝日盲光电探测器及其制备方法 [P]. 
陈占国 ;
张文博 ;
陈曦 ;
孙浩航 ;
刘晓航 ;
赵纪红 ;
刘秀环 ;
侯丽新 ;
高延军 .
中国专利 :CN114566566A ,2022-05-31
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