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氮化铝真空探测器及其制备方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411227978.1
申请日：
2024-09-03
公开(公告)号：
CN119050173A
公开(公告)日：
2024-11-29
发明(设计)人：
孙兆兰 赵德刚 刘冰 杨静 梁锋 刘宗顺 陈平 郑福
申请人：
中国科学院半导体研究所
申请人地址：
100083 北京市海淀区清华东路甲35号
IPC主分类号：
H01L31/0224
IPC分类号：
H01L31/108 H01L31/109 H01L31/18
代理机构：
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人：
肖慧
法律状态：
公开
国省代码：
北京市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2024-11-29 公开 公开
2024-12-17 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 31/0224申请日:20240903
共 50 条
[1]
氮化铝真空探测器及其制备方法 [P]. 
赵德刚 ;
赵全普 ;
孙兆兰 ;
杨静 ;
梁锋 ;
侯玉菲 ;
杨倩 ;
刘宗顺 ;
陈平 .
中国专利 :CN120051058B ,2025-11-21
[2]
氮化铝真空探测器及其制备方法 [P]. 
赵德刚 ;
赵全普 ;
孙兆兰 ;
杨静 ;
梁锋 ;
侯玉菲 ;
杨倩 ;
刘宗顺 ;
陈平 .
中国专利 :CN120051058A ,2025-05-27
[3]
基于PN异质结的氮化铝真空探测器及其制备方法 [P]. 
赵德刚 ;
孙兆兰 ;
杨静 ;
梁锋 ;
刘宗顺 ;
陈平 .
中国专利 :CN118231511A ,2024-06-21
[4]
基于异质结的氮化铝真空探测器及其制备方法 [P]. 
赵全普 ;
赵德刚 ;
孙兆兰 ;
杨静 ;
梁锋 ;
侯玉菲 ;
杨倩 ;
刘宗顺 ;
陈平 .
中国专利 :CN120051057A ,2025-05-27
[5]
基于肖特基结构的氮化铝真空探测器及制备方法 [P]. 
赵德刚 ;
孙兆兰 ;
杨静 ;
梁峰 ;
刘宗顺 ;
陈平 .
中国专利 :CN118507579A ,2024-08-16
[6]
一种基于氮化铝的真空紫外探测器及其制备方法 [P]. 
唐红雨 ;
施伟琪 ;
李绍娟 ;
张国旗 .
中国专利 :CN121174617A ,2025-12-19
[7]
用于氮化铝真空探测器制备的环境控制方法及系统 [P]. 
刘冰 ;
郑福 ;
唐翔 ;
刘雪峰 ;
傅雨婷 ;
孙兆兰 .
中国专利 :CN119126573A ,2024-12-13
[8]
用于氮化铝真空探测器制备的环境控制方法及系统 [P]. 
刘冰 ;
郑福 ;
唐翔 ;
刘雪峰 ;
傅雨婷 ;
孙兆兰 .
中国专利 :CN119126573B ,2025-09-30
[9]
氮化铝模板及其制备方法 [P]. 
何晨光 ;
吴华龙 ;
张康 ;
贺龙飞 ;
赵维 ;
陈志涛 ;
刘云洲 ;
廖乾光 .
中国专利 :CN114293252A ,2022-04-08
[10]
氮化铝模板及其制备方法 [P]. 
何晨光 ;
张康 ;
吴华龙 ;
贺龙飞 ;
陈志涛 ;
赵维 ;
廖乾光 ;
刘云洲 .
中国专利 :CN114284404A ,2022-04-05
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