氮化铝模板及其制备方法

被引：0

申请号：

CN202111641605.5

申请日：

2021-12-29

公开(公告)号：

CN114284404A

公开(公告)日：

2022-04-05

发明(设计)人：

何晨光张康吴华龙贺龙飞陈志涛赵维廖乾光刘云洲

申请人：

申请人地址：

510651 广东省广州市天河区长兴路363号

IPC主分类号：

H01L3300

IPC分类号：

H01L3312 C30B2940 C30B3302

代理机构：

北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463

代理人：

张金铭

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-22	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 33/00 申请日:20211229
2022-04-05	公开	公开

共 50 条

[1]

氮化铝模板及其制备方法 [P].

何晨光 ;

吴华龙 ;

张康 ;

贺龙飞 ;

赵维 ;

陈志涛 ;

刘云洲 ;

廖乾光 .

中国专利 :CN114293252A ,2022-04-08

[2]

氮化铝薄膜及其制备方法 [P].

戴文武 ;

黄勇 .

中国专利 :CN119162548A ,2024-12-20

[3]

氮化铝薄膜及其制备方法 [P].

戴文武 ;

黄勇 .

中国专利 :CN119162548B ,2025-04-25

[4]

氮化铝模板及其制备方法 [P].

张纪才 ;

李金峰 .

中国专利 :CN111477534A ,2020-07-31

[5]

高质量氮化铝模板及其制备方法 [P].

王新强 ;

袁冶 ;

刘上锋 ;

李泰 ;

王钇心 ;

李铎 ;

万文婷 .

中国专利 :CN113897678A ,2022-01-07

[6]

氮化铝真空探测器及其制备方法 [P].

孙兆兰 ;

赵德刚 ;

刘冰 ;

杨静 ;

梁锋 ;

刘宗顺 ;

陈平 ;

郑福 .

中国专利 :CN119050173A ,2024-11-29

[7]

氮化铝单晶模板及其制备方法、电子设备 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN117552098A ,2024-02-13

[8]

氮化铝薄膜及其制备方法、光电子器件 [P].

王新强 ;

刘放 ;

袁冶 ;

康俊杰 ;

刘上锋 .

中国专利 :CN113913749A ,2022-01-11

[9]

一种氮化铝模板的制备方法 [P].

徐广源 ;

蒋国文 ;

樊怡翔 ;

白城镇 ;

常煜鹏 .

中国专利 :CN113488564B ,2021-10-08

[10]

氮化铝真空探测器及其制备方法 [P].

赵德刚 ;

赵全普 ;

孙兆兰 ;

杨静 ;

梁锋 ;

侯玉菲 ;

杨倩 ;

刘宗顺 ;

陈平 .

中国专利 :CN120051058B ,2025-11-21

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