一种硅晶片高效率抛光无蜡垫及其生产工艺

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专利类型
发明
申请号
CN202410946615.7
申请日
2024-07-16
公开(公告)号
CN118769144B
公开(公告)日
2025-10-17
发明(设计)人
李加海 杨惠明 孙传东
申请人
安徽禾臣新材料有限公司
申请人地址
238299 安徽省马鞍山市和县经济开发区姥下河东路标准化厂房1号厂房
IPC主分类号
B24D11/00
IPC分类号
B24D11/02
代理机构
安徽聚马知识产权代理事务所(普通合伙) 34342
代理人
鲍呈飞
法律状态
实质审查的生效
国省代码
安徽省 安庆市
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共 50 条
[1]
一种硅晶片高效率抛光无蜡垫及其生产工艺 [P]. 
李加海 ;
杨惠明 ;
孙传东 .
中国专利 :CN118769144A ,2024-10-15
[2]
一种硅晶片抛光用多孔吸水CMP抛光垫及其生产工艺 [P]. 
李加海 ;
杨惠明 ;
孙传东 .
中国专利 :CN118682657A ,2024-09-24
[3]
一种基于基体材料硅晶片再生用的抛光垫及其生产工艺 [P]. 
李加海 ;
杨惠明 ;
孙传东 .
中国专利 :CN117464553A ,2024-01-30
[4]
一种晶片抛光用防崩角的无蜡垫及其生产工艺 [P]. 
李加海 ;
杨慧明 ;
李元祥 .
中国专利 :CN115008342A ,2022-09-06
[5]
一种硅PU高效率生产工艺 [P]. 
张书申 ;
文强 ;
谢燕平 .
中国专利 :CN113072806A ,2021-07-06
[6]
一种高效率皮带生产设备及其生产工艺 [P]. 
陈刚 .
中国专利 :CN114803659A ,2022-07-29
[7]
用于半导体硅晶材料单面抛光的无蜡垫及其生产工艺 [P]. 
李加海 ;
杨惠明 ;
李元祥 .
中国专利 :CN117067123B ,2025-09-30
[8]
防止出现晶体碎片的光学晶体片抛光无蜡垫及其生产工艺 [P]. 
李加海 ;
杨惠明 ;
孙传东 .
中国专利 :CN118650555B ,2025-10-17
[9]
一种高效率多功能鞋及其生产工艺 [P]. 
张小海 .
中国专利 :CN110623370A ,2019-12-31
[10]
一种钢板高效率冲孔装置及其生产工艺 [P]. 
曹珠央 ;
陈建 ;
廖珂玉 ;
胡中麟 ;
施茜茜 .
中国专利 :CN118751770A ,2024-10-11