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测试片、测试片的制备方法以及炉管退火工艺的监控方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202410594774.5
申请日：
2024-05-13
公开(公告)号：
CN120998799A
公开(公告)日：
2025-11-21
发明(设计)人：
王琪
申请人：
上海光通信有限公司
申请人地址：
201815 上海市嘉定区兴贤路1180号3号楼
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/324
H01L21/66
代理机构：
北京鼎承知识产权代理有限公司 11551
代理人：
张晓明
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-11-21 | 公开 | 公开 |
| 2025-12-09 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20240513 |