位移测量系统和位移测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202511471532.8

申请日：

2025-10-15

公开(公告)号：

CN120970464A

公开(公告)日：

2025-11-18

发明(设计)人：

蓝天李泽尧崔见玉朱先飞杨鑫鑫杨茂坤黎杰威

申请人：

惠科股份有限公司

申请人地址：

518101 广东省深圳市宝安区石岩街道石龙社区工业二路1号惠科工业园厂房1栋一层至三层、五至七层,6栋七层

IPC主分类号：

G01B7/02

IPC分类号：

代理机构：

深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280

代理人：

强珍妮

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

广东省深圳市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-12-05	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01B 7/02申请日:20251015
2025-11-18	公开	公开

共 50 条

[1]

位移测量装置、位移测量系统和位移测量方法 [P].

曾有军 ;

杨峰 ;

聂义 ;

安文慧 .

中国专利 :CN119197278A ,2024-12-27

[2]

读数头和位移测量系统及位移测量方法 [P].

杨晓峰 ;

郝凌凌 ;

张志平 .

中国专利 :CN112683175B ,2021-04-20

[3]

位移测量系统、位移测量方法及相关设备 [P].

张悦 ;

潘兵 ;

许巍 ;

刘帅 ;

何玉怀 .

中国专利 :CN120403447A ,2025-08-01

[4]

位移测量系统及其测量方法 [P].

江晓军 ;

刘正国 ;

汪志锋 .

中国专利 :CN101545767A ,2009-09-30

[5]

位移测量方法 [P].

张书练 ;

牛海莎 ;

谈宜东 .

中国专利 :CN103115573B ,2013-05-22

[6]

位移测量装置、测量系统及位移测量方法 [P].

近藤智则 ;

铃木祐太 ;

的场贤一 ;

金谷义宏 .

中国专利 :CN109557545A ,2019-04-02

[7]

位移测量系统、光刻设备、位移测量方法和装置制造方法 [P].

B·A·J·卢蒂克休斯 ;

H·H·M·科克斯 ;

E·R·卢普斯特拉 ;

E·A·F·范德帕施 ;

H·K·范德舒特 .

中国专利 :CN101071276A ,2007-11-14

[8]

绝对式直线位移传感器、位移测量系统和位移测量方法 [P].

陈自然 ;

彭凯 ;

刘小康 ;

蒲红吉 ;

于治成 ;

欧阳辉 .

中国专利 :CN119197280A ,2024-12-27

[9]

位移测量方法和位移测量装置 [P].

小山胜弘 ;

池田正人 .

中国专利 :CN102834690A ,2012-12-19

[10]

位移测量装置和位移测量方法 [P].

安达聪 ;

徳洋平 ;

长谷川年洋 .

中国专利 :CN105806201A ,2016-07-27

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