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一种钨硅合金靶材的制备方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202311722051.0
申请日
:
2023-12-14
公开(公告)号
:
CN117646176B
公开(公告)日
:
2025-11-04
发明(设计)人
:
姚力军
潘杰
苏阳能
王学泽
申请人
:
宁波江丰电子材料股份有限公司
申请人地址
:
315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路
IPC主分类号
:
C23C14/34
IPC分类号
:
代理机构
:
北京远智汇知识产权代理有限公司 11659
代理人
:
徐浩
法律状态
:
授权
国省代码
:
河北省 衡水市
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2025-11-04
授权
授权
2024-03-05
公开
公开
2024-03-22
实质审查的生效
实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/34申请日:20231214
共 50 条
[1]
一种钨硅合金靶材的制备方法
[P].
姚力军
论文数:
0
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机构:
宁波江丰电子材料股份有限公司
宁波江丰电子材料股份有限公司
姚力军
;
潘杰
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机构:
宁波江丰电子材料股份有限公司
宁波江丰电子材料股份有限公司
潘杰
;
苏阳能
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机构:
宁波江丰电子材料股份有限公司
宁波江丰电子材料股份有限公司
苏阳能
;
王学泽
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机构:
宁波江丰电子材料股份有限公司
宁波江丰电子材料股份有限公司
王学泽
.
中国专利
:CN117646176A
,2024-03-05
[2]
一种钨硅合金靶材及其制备方法
[P].
姚力军
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机构:
宁波江丰电子材料股份有限公司
宁波江丰电子材料股份有限公司
姚力军
;
任壮
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机构:
宁波江丰电子材料股份有限公司
宁波江丰电子材料股份有限公司
任壮
;
吴东青
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机构:
宁波江丰电子材料股份有限公司
宁波江丰电子材料股份有限公司
吴东青
;
孙慧芳
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机构:
宁波江丰电子材料股份有限公司
宁波江丰电子材料股份有限公司
孙慧芳
.
中国专利
:CN120815975A
,2025-10-21
[3]
一种钨硅合金靶材的制备方法
[P].
程少磊
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程少磊
;
马国成
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马国成
;
欧海玲
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欧海玲
;
庄成康
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庄成康
;
徐铸
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徐铸
;
童培云
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童培云
.
中国专利
:CN114293158A
,2022-04-08
[4]
一种钨硅合金靶材的制备方法
[P].
边逸军
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机构:
宁波江丰电子材料股份有限公司
宁波江丰电子材料股份有限公司
边逸军
;
姚力军
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机构:
宁波江丰电子材料股份有限公司
宁波江丰电子材料股份有限公司
姚力军
;
苏阳能
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机构:
宁波江丰电子材料股份有限公司
宁波江丰电子材料股份有限公司
苏阳能
;
钟伟华
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机构:
宁波江丰电子材料股份有限公司
宁波江丰电子材料股份有限公司
钟伟华
.
中国专利
:CN120624997A
,2025-09-12
[5]
一种钨硅合金靶材的制备方法
[P].
白锋
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白锋
;
于洋
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于洋
;
赖亚洲
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赖亚洲
;
彭福生
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彭福生
;
庄志刚
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庄志刚
;
宋久鹏
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宋久鹏
;
石涛
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石涛
;
刘盈霞
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刘盈霞
.
中国专利
:CN103056368A
,2013-04-24
[6]
一种低氧钨硅合金粉末及其制备方法和钨硅合金靶材
[P].
姚力军
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机构:
宁波江丰电子材料股份有限公司
宁波江丰电子材料股份有限公司
姚力军
;
任壮
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机构:
宁波江丰电子材料股份有限公司
宁波江丰电子材料股份有限公司
任壮
;
孙慧芳
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机构:
宁波江丰电子材料股份有限公司
宁波江丰电子材料股份有限公司
孙慧芳
;
吴东青
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机构:
宁波江丰电子材料股份有限公司
宁波江丰电子材料股份有限公司
吴东青
.
中国专利
:CN119368752A
,2025-01-28
[7]
一种高纯低氧钨硅合金靶材的制备方法
[P].
李利利
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李利利
;
丁照崇
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丁照崇
;
曲鹏
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曲鹏
;
李勇军
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李勇军
;
曹晓萌
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曹晓萌
;
贾倩
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贾倩
;
滕海涛
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滕海涛
;
张晓娜
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张晓娜
;
杜文路
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杜文路
.
中国专利
:CN113088899A
,2021-07-09
[8]
一种钨硅合金靶材的镀镍方法
[P].
姚力军
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机构:
宁波江丰电子材料股份有限公司
宁波江丰电子材料股份有限公司
姚力军
;
潘杰
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机构:
宁波江丰电子材料股份有限公司
宁波江丰电子材料股份有限公司
潘杰
;
侯宇
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机构:
宁波江丰电子材料股份有限公司
宁波江丰电子材料股份有限公司
侯宇
;
刘宽炳
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机构:
宁波江丰电子材料股份有限公司
宁波江丰电子材料股份有限公司
刘宽炳
.
中国专利
:CN118186382A
,2024-06-14
[9]
一种钨硅合金靶材的镀镍方法
[P].
姚力军
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机构:
宁波江丰电子材料股份有限公司
宁波江丰电子材料股份有限公司
姚力军
;
潘杰
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机构:
宁波江丰电子材料股份有限公司
宁波江丰电子材料股份有限公司
潘杰
;
侯宇
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机构:
宁波江丰电子材料股份有限公司
宁波江丰电子材料股份有限公司
侯宇
;
刘宽炳
论文数:
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0
机构:
宁波江丰电子材料股份有限公司
宁波江丰电子材料股份有限公司
刘宽炳
.
中国专利
:CN118186382B
,2025-08-22
[10]
一种钨合金靶材及其制备方法
[P].
崔明培
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崔明培
;
王家生
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王家生
;
任山
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任山
;
朱湘平
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朱湘平
.
中国专利
:CN102139371A
,2011-08-03
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