一种钨硅合金靶材的制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202311722051.0
申请日
2023-12-14
公开(公告)号
CN117646176B
公开(公告)日
2025-11-04
发明(设计)人
姚力军 潘杰 苏阳能 王学泽
申请人
宁波江丰电子材料股份有限公司
申请人地址
315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路
IPC主分类号
C23C14/34
IPC分类号
代理机构
北京远智汇知识产权代理有限公司 11659
代理人
徐浩
法律状态
授权
国省代码
河北省 衡水市
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共 50 条
[1]
一种钨硅合金靶材的制备方法 [P]. 
姚力军 ;
潘杰 ;
苏阳能 ;
王学泽 .
中国专利 :CN117646176A ,2024-03-05
[2]
一种钨硅合金靶材及其制备方法 [P]. 
姚力军 ;
任壮 ;
吴东青 ;
孙慧芳 .
中国专利 :CN120815975A ,2025-10-21
[3]
一种钨硅合金靶材的制备方法 [P]. 
程少磊 ;
马国成 ;
欧海玲 ;
庄成康 ;
徐铸 ;
童培云 .
中国专利 :CN114293158A ,2022-04-08
[4]
一种钨硅合金靶材的制备方法 [P]. 
边逸军 ;
姚力军 ;
苏阳能 ;
钟伟华 .
中国专利 :CN120624997A ,2025-09-12
[5]
一种钨硅合金靶材的制备方法 [P]. 
白锋 ;
于洋 ;
赖亚洲 ;
彭福生 ;
庄志刚 ;
宋久鹏 ;
石涛 ;
刘盈霞 .
中国专利 :CN103056368A ,2013-04-24
[6]
一种低氧钨硅合金粉末及其制备方法和钨硅合金靶材 [P]. 
姚力军 ;
任壮 ;
孙慧芳 ;
吴东青 .
中国专利 :CN119368752A ,2025-01-28
[7]
一种高纯低氧钨硅合金靶材的制备方法 [P]. 
李利利 ;
丁照崇 ;
曲鹏 ;
李勇军 ;
曹晓萌 ;
贾倩 ;
滕海涛 ;
张晓娜 ;
杜文路 .
中国专利 :CN113088899A ,2021-07-09
[8]
一种钨硅合金靶材的镀镍方法 [P]. 
姚力军 ;
潘杰 ;
侯宇 ;
刘宽炳 .
中国专利 :CN118186382A ,2024-06-14
[9]
一种钨硅合金靶材的镀镍方法 [P]. 
姚力军 ;
潘杰 ;
侯宇 ;
刘宽炳 .
中国专利 :CN118186382B ,2025-08-22
[10]
一种钨合金靶材及其制备方法 [P]. 
崔明培 ;
王家生 ;
任山 ;
朱湘平 .
中国专利 :CN102139371A ,2011-08-03