一种高纯低氧钨硅合金靶材的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110295606.2

申请日：

2021-03-19

公开(公告)号：

CN113088899A

公开(公告)日：

2021-07-09

发明(设计)人：

李利利丁照崇曲鹏李勇军曹晓萌贾倩滕海涛张晓娜杜文路

申请人：

申请人地址：

102200 北京市昌平区超前路33号

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

B22F315 B22F100

代理机构：

北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246

代理人：

陈波

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-07-09	公开	公开
2021-07-27	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20210319

共 50 条

[1]

一种高纯高均匀低氧钼硅合金靶材及其制备方法 [P].

贾倩 ;

王兴权 ;

范宁 ;

李利利 ;

丁照崇 ;

蔺心宇 ;

何金江 ;

罗俊锋 .

中国专利 :CN117758088A ,2024-03-26

[2]

一种高纯高均匀低氧钼硅合金靶材及其制备方法 [P].

贾倩 ;

王兴权 ;

范宁 ;

李利利 ;

丁照崇 ;

蔺心宇 ;

何金江 ;

罗俊锋 .

中国专利 :CN117758088B ,2025-11-07

[3]

一种低氧钨硅合金粉末及其制备方法和钨硅合金靶材 [P].

姚力军 ;

任壮 ;

孙慧芳 ;

吴东青 .

中国专利 :CN119368752A ,2025-01-28

[4]

一种钨硅合金靶材的制备方法 [P].

程少磊 ;

马国成 ;

欧海玲 ;

庄成康 ;

徐铸 ;

童培云 .

中国专利 :CN114293158A ,2022-04-08

[5]

一种钨硅合金靶材的制备方法 [P].

边逸军 ;

姚力军 ;

苏阳能 ;

钟伟华 .

中国专利 :CN120624997A ,2025-09-12

[6]

一种钨硅合金靶材的制备方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

苏阳能 ;

王学泽 .

中国专利 :CN117646176A ,2024-03-05

[7]

一种钨硅合金靶材的制备方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

苏阳能 ;

王学泽 .

中国专利 :CN117646176B ,2025-11-04

[8]

一种钨硅合金靶材的制备方法 [P].

白锋 ;

于洋 ;

赖亚洲 ;

彭福生 ;

庄志刚 ;

宋久鹏 ;

石涛 ;

刘盈霞 .

中国专利 :CN103056368A ,2013-04-24

[9]

一种高纯超低氧含量钌钽合金靶材及其制备方法 [P].

巢云秀 ;

赵琪 ;

陈静洪 ;

施晨琦 ;

闻明 ;

唐可 ;

王传军 ;

刘子其 ;

李治东 ;

沈月 ;

许彦亭 .

中国专利 :CN119282115A ,2025-01-10

[10]

一种钨硅合金靶材及其制备方法 [P].

姚力军 ;

任壮 ;

吴东青 ;

孙慧芳 .

中国专利 :CN120815975A ,2025-10-21

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