电涡流终点检测装置及化学机械抛光设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411280835.7

申请日：

2024-09-13

公开(公告)号：

CN118875960B

公开(公告)日：

2025-11-21

发明(设计)人：

郑烨侯映红田芳馨王同庆

申请人：

华海清科股份有限公司

申请人地址：

300350 天津市津南区咸水沽镇聚兴道11号

IPC主分类号：

B24B37/005

IPC分类号：

B24B49/10 B24B53/017 B24B37/30 B24B37/013 G01B7/06

代理机构：

代理人：

法律状态：

公开

国省代码：

天津市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-01	公开	公开
2024-11-19	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B24B 37/005申请日:20240913
2025-11-21	授权	授权

共 50 条

[1]

电涡流终点检测装置及化学机械抛光设备 [P].

郑烨 ;

侯映红 ;

田芳馨 ;

王同庆 .

中国专利 :CN118875960A ,2024-11-01

[2]

电涡流终点检测装置及化学机械抛光设备 [P].

郑烨 .

中国专利 :CN222021380U ,2024-11-19

[3]

化学机械抛光设备、化学机械抛光终点检测装置和方法 [P].

邓武锋 .

中国专利 :CN102909649A ,2013-02-06

[4]

化学机械抛光终点检测装置 [P].

王军星 ;

郭振宇 ;

沈攀 ;

雷殿波 ;

路新春 .

中国专利 :CN206653253U ,2017-11-21

[5]

化学机械抛光终点检测装置 [P].

王军星 ;

郭振宇 ;

沈攀 ;

雷殿波 ;

路新春 .

中国专利 :CN106926110A ,2017-07-07

[6]

抛光终点检测系统、方法、控制器及化学机械抛光设备 [P].

邵辉 ;

李勋勋 ;

牛孝昊 .

中国专利 :CN119098895A ,2024-12-10

[7]

化学机械抛光设备及化学机械抛光方法 [P].

朱慧珑 ;

钟汇才 ;

梁擎擎 ;

赵超 .

中国专利 :CN102756323A ,2012-10-31

[8]

化学机械抛光设备及化学机械抛光方法 [P].

李洪阳 ;

陈映松 ;

许振杰 ;

李长坤 ;

王科 .

中国专利 :CN120134207B ,2025-08-19

[9]

化学机械抛光设备及化学机械抛光方法 [P].

李洪阳 ;

陈映松 ;

许振杰 ;

李长坤 ;

王科 .

中国专利 :CN120862551A ,2025-10-31

[10]

化学机械抛光设备及化学机械抛光方法 [P].

李洪阳 ;

陈映松 ;

许振杰 ;

李长坤 ;

王科 .

中国专利 :CN120134207A ,2025-06-13

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