化学机械抛光终点检测装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201720391740.1

申请日：

2017-04-14

公开(公告)号：

CN206653253U

公开(公告)日：

2017-11-21

发明(设计)人：

王军星郭振宇沈攀雷殿波路新春

申请人：

申请人地址：

300350 天津市津南区海河科技园区聚兴道9号，8号楼

IPC主分类号：

B24B37013

IPC分类号：

H01L21306 H01L2166

代理机构：

北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201

代理人：

黄德海

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-11-21	授权	授权
2020-06-30	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):B24B 37/013 变更事项:专利权人变更前:天津华海清科机电科技有限公司变更后:华海清科股份有限公司变更事项:地址变更前:300350 天津市津南区海河科技园区聚兴道9号，8号楼变更后:300350 天津市津南区海河科技园区聚兴道9号，8号楼变更事项:共同专利权人变更前:清华大学变更后:清华大学

共 50 条

[1]

化学机械抛光终点检测装置 [P].

王军星 ;

郭振宇 ;

沈攀 ;

雷殿波 ;

路新春 .

中国专利 :CN106926110A ,2017-07-07

[2]

化学机械抛光设备、化学机械抛光终点检测装置和方法 [P].

邓武锋 .

中国专利 :CN102909649A ,2013-02-06

[3]

电涡流终点检测装置及化学机械抛光设备 [P].

郑烨 ;

侯映红 ;

田芳馨 ;

王同庆 .

中国专利 :CN118875960A ,2024-11-01

[4]

电涡流终点检测装置及化学机械抛光设备 [P].

郑烨 ;

侯映红 ;

田芳馨 ;

王同庆 .

中国专利 :CN118875960B ,2025-11-21

[5]

电涡流终点检测装置及化学机械抛光设备 [P].

郑烨 .

中国专利 :CN222021380U ,2024-11-19

[6]

一种用于化学机械抛光装置的在线终点检测系统 [P].

朱宗树 ;

吕文利 ;

魏唯 .

中国专利 :CN201490163U ,2010-05-26

[7]

具有终点检测窗口的化学机械抛光垫 [P].

钱百年 ;

M·德格鲁特 .

中国专利 :CN104942701B ,2015-09-30

[8]

终点检测窗口、化学机械抛光垫及其应用 [P].

谢毓 ;

王凯 .

中国专利 :CN118456278A ,2024-08-09

[9]

终点检测窗口、化学机械抛光垫及其应用 [P].

谢毓 ;

王凯 .

中国专利 :CN118456278B ,2024-12-03

[10]

一种终点检测方法、系统及化学机械抛光装置 [P].

赵德文 ;

路新春 .

中国专利 :CN110394728B ,2019-11-01

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