共 50 条
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アルコキシド化合物、薄膜形成用原料及び薄膜の製造方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20220535019
申请日：
2021-06-25
公开(公告)号：
JP7669367B2
公开(公告)日：
2025-04-28
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C07F1/08
IPC分类号：
C07F7/22
C07F15/04
C07F15/06
C23C16/18
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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