一种KrF光刻胶树脂及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410497160.5

申请日：

2024-04-24

公开(公告)号：

CN120829535A

公开(公告)日：

2025-10-24

发明(设计)人：

周佳俊李竞

申请人：

上海集材微电子材料技术有限公司

申请人地址：

201417 上海市奉贤区上海化学工业区目华路201号1幢20层2009室

IPC主分类号：

C08F212/14

IPC分类号：

C08F2/06 C08F4/04 G03F7/004

代理机构：

上海光华专利事务所(普通合伙) 31219

代理人：

高燕

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-24	公开	公开
2025-11-11	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C08F 212/14申请日:20240424

共 50 条

[1]

KrF光刻胶用树脂及其制备方法 [P].

方书农 ;

陈海 .

中国专利 :CN119591766A ,2025-03-11

[2]

一种光刻胶树脂、制备方法及光刻胶 [P].

纪学顺 ;

蒋志强 ;

马吉全 .

中国专利 :CN121135937A ,2025-12-16

[3]

一种桥型结构光刻胶树脂和KrF光刻胶组合物及其制备方法 [P].

王雪枫 ;

王静 ;

张文婷 ;

宋里千 ;

肖楠 .

中国专利 :CN118307703B ,2025-10-03

[4]

一种桥型结构光刻胶树脂和KrF光刻胶组合物及其制备方法 [P].

王雪枫 ;

李禾禾 ;

王静 ;

张文婷 ;

宋里千 ;

肖楠 .

中国专利 :CN118307704A ,2024-07-09

[5]

一种桥型结构光刻胶树脂和KrF光刻胶组合物及其制备方法 [P].

王雪枫 ;

王静 ;

张文婷 ;

宋里千 ;

肖楠 .

中国专利 :CN118307703A ,2024-07-09

[6]

耐刻蚀KrF光刻胶及制备方法 [P].

陈韦帆 ;

黄巍 ;

徐亮 ;

季昌彬 .

中国专利 :CN114236965B ,2024-07-26

[7]

一种光刻胶树脂及其制备方法 [P].

陈鹏 ;

马潇 ;

顾大公 ;

毛智彪 ;

许从应 .

中国专利 :CN113956392A ,2022-01-21

[8]

耐刻蚀KrF光刻胶及制备方法 [P].

陈韦帆 ;

黄巍 ;

徐亮 ;

季昌彬 .

中国专利 :CN114236965A ,2022-03-25

[9]

一种光刻胶树脂及其制备方法与应用 [P].

陈鹏 ;

马潇 ;

顾大公 ;

毛智彪 ;

许从应 .

中国专利 :CN114044843A ,2022-02-15

[10]

一种正性化学放大光刻胶树脂、制备方法及光刻胶 [P].

纪学顺 ;

蒋志强 ;

马吉全 .

中国专利 :CN120775098A ,2025-10-14

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