一种光刻胶树脂及其制备方法与应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111344863.7

申请日：

2021-11-15

公开(公告)号：

CN114044843A

公开(公告)日：

2022-02-15

发明(设计)人：

陈鹏马潇顾大公毛智彪许从应

申请人：

申请人地址：

315800 浙江省宁波市北仑区柴桥街道青山路21号

IPC主分类号：

C08F2002

IPC分类号：

C08F22002 C08F814 G03F7004

代理机构：

深圳盛德大业知识产权代理事务所(普通合伙) 44333

代理人：

左光明

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-03-04	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C08F 20/02 申请日:20211115
2022-02-15	公开	公开

共 50 条

[1]

一种光刻胶树脂、制备方法及光刻胶 [P].

纪学顺 ;

蒋志强 ;

马吉全 .

中国专利 :CN121135937A ,2025-12-16

[2]

一种星形聚合物光刻胶成膜树脂及其制备方法与应用 [P].

冯岸超 ;

潘家晟 ;

周昱霖 ;

郭宝春 ;

汤华燊 ;

张立群 .

中国专利 :CN119613600A ,2025-03-14

[3]

一种KrF光刻胶树脂及其制备方法 [P].

周佳俊 ;

李竞 .

中国专利 :CN120829535A ,2025-10-24

[4]

一种光刻胶树脂及其聚合方法 [P].

陈鹏 ;

卢汉林 ;

陈情丽 ;

马潇 ;

顾大公 ;

毛智彪 ;

许从应 .

中国专利 :CN113861332A ,2021-12-31

[5]

一种正性化学放大光刻胶树脂、制备方法及光刻胶 [P].

纪学顺 ;

蒋志强 ;

马吉全 .

中国专利 :CN120775098A ,2025-10-14

[6]

一种光刻胶树脂及其制备方法与应用 [P].

杨述瑞 ;

杨晓知 ;

马吉全 ;

王玉胜 ;

纪学顺 .

中国专利 :CN120399138A ,2025-08-01

[7]

一种正性化学放大光刻胶树脂、制备方法及光刻胶 [P].

蒋志强 ;

杨述瑞 ;

曹骏 ;

马吉全 .

中国专利 :CN118684824A ,2024-09-24

[8]

KrF光刻胶用树脂及其制备方法 [P].

方书农 ;

陈海 .

中国专利 :CN119591766A ,2025-03-11

[9]

一种光刻胶树脂及其制备方法 [P].

顾大公 ;

马潇 ;

余绍山 ;

陈鹏 ;

齐国强 ;

许东升 ;

毛智彪 ;

许从应 .

中国专利 :CN112794941A ,2021-05-14

[10]

一种光刻胶树脂及其制备方法 [P].

陈鹏 ;

马潇 ;

顾大公 ;

毛智彪 ;

许从应 .

中国专利 :CN113956392A ,2022-01-21

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