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一种光刻胶树脂及其制备方法与应用
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202510697707.0
申请日
:
2025-05-28
公开(公告)号
:
CN120399138A
公开(公告)日
:
2025-08-01
发明(设计)人
:
杨述瑞
杨晓知
马吉全
王玉胜
纪学顺
申请人
:
万华化学集团股份有限公司
申请人地址
:
264006 山东省烟台市经济技术开发区重庆大街59号
IPC主分类号
:
C08F220/32
IPC分类号
:
C08F220/18
C08F220/54
G03F7/004
代理机构
:
代理人
:
法律状态
:
实质审查的生效
国省代码
:
安徽省 宣城市
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2025-08-19
实质审查的生效
实质审查的生效IPC(主分类):C08F 220/32申请日:20250528
2025-08-01
公开
公开
共 50 条
[1]
一种光刻胶树脂及其制备方法与应用
[P].
陈鹏
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陈鹏
;
马潇
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马潇
;
顾大公
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顾大公
;
毛智彪
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毛智彪
;
许从应
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许从应
.
中国专利
:CN114044843A
,2022-02-15
[2]
一种光刻胶树脂及其制备方法
[P].
顾大公
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顾大公
;
马潇
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马潇
;
余绍山
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余绍山
;
陈鹏
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陈鹏
;
齐国强
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齐国强
;
许东升
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许东升
;
毛智彪
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毛智彪
;
许从应
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许从应
.
中国专利
:CN112794941A
,2021-05-14
[3]
一种光刻胶树脂及其制备方法
[P].
陈鹏
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陈鹏
;
马潇
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马潇
;
顾大公
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顾大公
;
毛智彪
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毛智彪
;
许从应
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许从应
.
中国专利
:CN113956392A
,2022-01-21
[4]
一种光刻胶树脂、制备方法及光刻胶
[P].
纪学顺
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机构:
万华化学集团股份有限公司
万华化学集团股份有限公司
纪学顺
;
蒋志强
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机构:
万华化学集团股份有限公司
万华化学集团股份有限公司
蒋志强
;
马吉全
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机构:
万华化学集团股份有限公司
万华化学集团股份有限公司
马吉全
.
中国专利
:CN121135937A
,2025-12-16
[5]
一种KrF光刻胶树脂及其制备方法
[P].
周佳俊
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机构:
上海集材微电子材料技术有限公司
上海集材微电子材料技术有限公司
周佳俊
;
李竞
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机构:
上海集材微电子材料技术有限公司
上海集材微电子材料技术有限公司
李竞
.
中国专利
:CN120829535A
,2025-10-24
[6]
光刻胶及其制备方法与应用
[P].
周徐
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周徐
;
徐国强
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徐国强
;
黄耀鹏
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黄耀鹏
;
徐海生
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徐海生
.
中国专利
:CN105573057A
,2016-05-11
[7]
一种光刻胶树脂及其聚合方法
[P].
陈鹏
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陈鹏
;
卢汉林
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卢汉林
;
陈情丽
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陈情丽
;
马潇
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马潇
;
顾大公
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顾大公
;
毛智彪
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毛智彪
;
许从应
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许从应
.
中国专利
:CN113861332A
,2021-12-31
[8]
一种低缺陷的193nm光刻胶、光刻胶树脂及其制备方法
[P].
顾大公
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顾大公
;
许东升
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许东升
;
余绍山
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余绍山
;
齐国强
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齐国强
;
岳力挽
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岳力挽
;
马潇
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马潇
;
李珊珊
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李珊珊
;
毛智彪
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毛智彪
;
许从应
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许从应
.
中国专利
:CN112876602A
,2021-06-01
[9]
光敏树脂、光刻胶及其制备方法、应用
[P].
黎迈俊
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机构:
广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院
广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院
黎迈俊
;
郑爽
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广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院
广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院
郑爽
;
潘锦铖
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机构:
广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院
广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院
潘锦铖
;
吴敏铭
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机构:
广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院
广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院
吴敏铭
.
中国专利
:CN114106325B
,2024-02-09
[10]
光敏树脂、光刻胶及其制备方法、应用
[P].
黎迈俊
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黎迈俊
;
郑爽
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郑爽
;
潘锦铖
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潘锦铖
;
吴敏铭
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吴敏铭
.
中国专利
:CN114106326A
,2022-03-01
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