半导体清洗设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202422867891.2

申请日：

2024-11-22

公开(公告)号：

CN223539567U

公开(公告)日：

2025-11-11

发明(设计)人：

郭亨巫双

申请人：

北京北方华创微电子装备有限公司

申请人地址：

100176 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

H01L21/677 B08B3/08 B08B13/00

代理机构：

北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112

代理人：

彭瑞欣;王婷

法律状态：

授权

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-11-11	授权	授权

共 50 条

[1]

半导体清洗单元和半导体清洗设备 [P].

左国军 ;

邱瑞 ;

成旭 ;

李雄朋 ;

陈雷 ;

谈丽文 ;

申斌 .

中国专利 :CN215988677U ,2022-03-08

[2]

半导体清洗槽及半导体清洗设备 [P].

梁家齐 ;

赵宏宇 .

中国专利 :CN220970269U ,2024-05-17

[3]

半导体清洗设备 [P].

朴英植 .

中国专利 :CN222856123U ,2025-05-13

[4]

半导体清洗设备 [P].

王宝生 ;

唐斌 .

中国专利 :CN217289621U ,2022-08-26

[5]

半导体清洗设备 [P].

朴灵绪 ;

吴镐硕 ;

张怀东 .

中国专利 :CN218004783U ,2022-12-09

[6]

半导体清洗设备 [P].

孙建涵 ;

陈超 .

中国专利 :CN222530377U ,2025-02-25

[7]

半导体清洗设备 [P].

张虎威 ;

高少飞 ;

南建辉 ;

张金斌 .

中国专利 :CN217009129U ,2022-07-19

[8]

半导体清洗设备 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN208336163U ,2019-01-04

[9]

半导体清洗设备 [P].

朴英植 .

中国专利 :CN222914746U ,2025-05-27

[10]

半导体清洗设备 [P].

闫亮 ;

王广永 .

中国专利 :CN216988825U ,2022-07-19

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