半导体清洗槽及半导体清洗设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202322171792.6

申请日：

2023-08-11

公开(公告)号：

CN220970269U

公开(公告)日：

2024-05-17

发明(设计)人：

梁家齐赵宏宇

申请人：

北京北方华创微电子装备有限公司

申请人地址：

100176 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号

IPC主分类号：

B08B13/00

IPC分类号：

B08B3/08 H01L21/67

代理机构：

北京思创毕升专利事务所 11218

代理人：

廉莉莉

法律状态：

授权

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-05-17	授权	授权

共 50 条

[1]

半导体清洗设备中的清洗槽及半导体清洗设备 [P].

梁家齐 ;

赵宏宇 ;

张敬博 ;

王延广 .

中国专利 :CN113305093B ,2021-08-27

[2]

清洗槽组件和半导体清洗设备 [P].

董丽荣 ;

吴仪 ;

刘晓环 .

中国专利 :CN112349629A ,2021-02-09

[3]

半导体清洗设备及半导体清洗方法 [P].

左国军 ;

范生刚 ;

马文毕 ;

王祥祥 .

中国专利 :CN118431113A ,2024-08-02

[4]

半导体清洗单元和半导体清洗设备 [P].

左国军 ;

邱瑞 ;

成旭 ;

李雄朋 ;

陈雷 ;

谈丽文 ;

申斌 .

中国专利 :CN215988677U ,2022-03-08

[5]

一种半导体清洗设备的清洗槽及半导体清洗设备 [P].

张向东 .

中国专利 :CN119008465A ,2024-11-22

[6]

半导体清洗设备 [P].

朴灵绪 ;

吴镐硕 ;

张怀东 .

中国专利 :CN218004783U ,2022-12-09

[7]

半导体清洗设备 [P].

闫亮 ;

王广永 .

中国专利 :CN216988825U ,2022-07-19

[8]

半导体清洗设备的隔离装置和半导体清洗设备 [P].

左国军 ;

邱瑞 ;

成旭 ;

李雄朋 ;

陈雷 ;

谈丽文 ;

申斌 .

中国专利 :CN215988678U ,2022-03-08

[9]

半导体清洗设备 [P].

朴英植 .

中国专利 :CN222856123U ,2025-05-13

[10]

半导体清洗设备 [P].

王宝生 ;

唐斌 .

中国专利 :CN217289621U ,2022-08-26

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