半导体清洗设备的隔离装置和半导体清洗设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202122489264.6

申请日：

2021-10-15

公开(公告)号：

CN215988678U

公开(公告)日：

2022-03-08

发明(设计)人：

左国军邱瑞成旭李雄朋陈雷谈丽文申斌

申请人：

申请人地址：

213133 江苏省常州市新北区机电工业园宝塔山路9号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L21687 B08B308 B08B1300

代理机构：

北京友联知识产权代理事务所(普通合伙) 11343

代理人：

汪海屏;王淑梅

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-03-08	授权	授权

共 50 条

[1]

半导体清洗单元和半导体清洗设备 [P].

左国军 ;

邱瑞 ;

成旭 ;

李雄朋 ;

陈雷 ;

谈丽文 ;

申斌 .

中国专利 :CN215988677U ,2022-03-08

[2]

半导体清洗槽及半导体清洗设备 [P].

梁家齐 ;

赵宏宇 .

中国专利 :CN220970269U ,2024-05-17

[3]

半导体清洗设备 [P].

朴灵绪 ;

吴镐硕 ;

张怀东 .

中国专利 :CN218004783U ,2022-12-09

[4]

半导体清洗设备 [P].

闫亮 ;

王广永 .

中国专利 :CN216988825U ,2022-07-19

[5]

半导体清洗载具和半导体清洗设备 [P].

张洋 .

中国专利 :CN120341146A ,2025-07-18

[6]

半导体清洗设备的检测装置以及半导体清洗设备 [P].

崔凯 ;

乔夫龙 ;

赵刘明 ;

张适杰 .

中国专利 :CN223390499U ,2025-09-26

[7]

半导体清洗设备及半导体清洗方法 [P].

左国军 ;

范生刚 ;

马文毕 ;

王祥祥 .

中国专利 :CN118431113A ,2024-08-02

[8]

半导体清洗设备中的清洗槽及半导体清洗设备 [P].

梁家齐 ;

赵宏宇 ;

张敬博 ;

王延广 .

中国专利 :CN113305093B ,2021-08-27

[9]

半导体清洗设备 [P].

张亚斌 ;

赵宏宇 ;

姬庆韬 .

中国专利 :CN113363185B ,2024-05-17

[10]

半导体清洗设备 [P].

朴英植 .

中国专利 :CN222856123U ,2025-05-13

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