半导体清洗载具和半导体清洗设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410073078.X

申请日：

2024-01-18

公开(公告)号：

CN120341146A

公开(公告)日：

2025-07-18

发明(设计)人：

张洋

申请人：

北京北方华创微电子装备有限公司

申请人地址：

100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号

IPC主分类号：

H01L21/673

IPC分类号：

H01L21/67

代理机构：

北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315

代理人：

束智伟

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-08-05	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/673申请日:20240118
2025-07-18	公开	公开

共 50 条

[1]

半导体清洗单元和半导体清洗设备 [P].

左国军 ;

邱瑞 ;

成旭 ;

李雄朋 ;

陈雷 ;

谈丽文 ;

申斌 .

中国专利 :CN215988677U ,2022-03-08

[2]

半导体清洗设备 [P].

李嘉 ;

吴仪 ;

刘晓环 .

中国专利 :CN112713110B ,2024-08-23

[3]

半导体清洗设备 [P].

闫亮 ;

王广永 .

中国专利 :CN216988825U ,2022-07-19

[4]

半导体清洗设备 [P].

李嘉 ;

吴仪 ;

刘晓环 .

中国专利 :CN112713110A ,2021-04-27

[5]

半导体清洗设备及半导体清洗方法 [P].

左国军 ;

范生刚 ;

马文毕 ;

王祥祥 .

中国专利 :CN118431113A ,2024-08-02

[6]

半导体清洗槽及半导体清洗设备 [P].

梁家齐 ;

赵宏宇 .

中国专利 :CN220970269U ,2024-05-17

[7]

半导体清洗设备的隔离装置和半导体清洗设备 [P].

左国军 ;

邱瑞 ;

成旭 ;

李雄朋 ;

陈雷 ;

谈丽文 ;

申斌 .

中国专利 :CN215988678U ,2022-03-08

[8]

半导体清洗设备 [P].

朴英植 .

中国专利 :CN222856123U ,2025-05-13

[9]

半导体清洗设备 [P].

张亚斌 ;

赵宏宇 ;

姬庆韬 .

中国专利 :CN113363185B ,2024-05-17

[10]

半导体清洗设备 [P].

张亚斌 ;

赵宏宇 ;

姬庆韬 .

中国专利 :CN113363185A ,2021-09-07

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