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一种静电卡盘
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510960763.9
申请日：
2025-07-12
公开(公告)号：
CN121035037A
公开(公告)日：
2025-11-28
发明(设计)人：
石锗元
焦燕
李君
申请人：
君原电子科技（海宁）有限公司
申请人地址：
314400 浙江省嘉兴市海宁市海宁经济开发区谷水路306号天通泛半导体产业园2幢
IPC主分类号：
H01L21/683
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
公开
国省代码：
河北省
衡水市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-11-28 | 公开 | 公开 |
| 2025-12-16 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/683申请日:20250712 |