研磨パッド、研磨パッドの製造方法、及び光学材料又は半導体材料の表面を研磨する方法[ja]

被引:0
申请号
JP20210161980
申请日
2021-09-30
公开(公告)号
JP7774414B2
公开(公告)日
2025-11-21
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
B24B37/24
IPC分类号
C08J5/14 H01L21/304
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[2]
研磨パッド、研磨パッドの製造方法、及び光学材料又は半導体材料の表面を研磨する方法[ja] [P]. 
TATENO TEPPEI ;
TAKAMIZAWA YAMATO ;
OCHI KEISUKE ;
KAWASAKI TETSUAKI .
日本专利 :JP2024047977A ,2024-04-08
[4]
研磨パッド、研磨パッドの製造方法、及び光学材料又は半導体材料の表面を研磨する方法[ja] [P]. 
TATENO TEPPEI ;
TAKAMIZAWA YAMATO ;
OCHI KEISUKE ;
KAWASAKI TETSUAKI .
日本专利 :JP2024141175A ,2024-10-10
[9]
研磨パッドの製造方法及び光学材料又は半導体材料の表面を研磨する方法[ja] [P]. 
TATENO TEPPEI ;
TAKAMIZAWA YAMATO ;
OCHI KEISUKE ;
KAWASAKI TETSUAKI .
日本专利 :JP2024144235A ,2024-10-11
[10]
量子ドット半導体材料の製造装置及び製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP2014529877A ,2014-11-13