贵金属靶材的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510983557.X

申请日：

2025-07-17

公开(公告)号：

CN121004272A

公开(公告)日：

2025-11-25

发明(设计)人：

李心然赵泽良王永超

申请人：

河南东微电子材料有限公司

申请人地址：

451162 河南省郑州市郑州航空港区新港大道与人民路交叉口智能终端手机产业园B区12号楼1、2层

IPC主分类号：

B22F3/105

IPC分类号：

C23C14/34

代理机构：

代理人：

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

河南省郑州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-12-12	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B22F 3/105申请日:20250717
2025-11-25	公开	公开

共 50 条

[1]

一种贵金属靶材的修复方法 [P].

高广睿 ;

李争显 ;

杜继红 ;

王宝云 ;

严鹏 ;

陈玉斌 .

中国专利 :CN101413107A ,2009-04-22

[2]

一种用于贵金属靶材加工的雕铣机夹具 [P].

陈占铅 ;

钟茂礼 ;

应宗波 ;

周方 ;

李良 .

中国专利 :CN212398886U ,2021-01-26

[3]

含贵金属溅镀靶材的制作方法 [P].

陈荣志 ;

李至隆 ;

洪胤庭 ;

张瑞东 ;

施拔萃 .

中国专利 :CN101319303A ,2008-12-10

[4]

一种贵金属靶材制备用真空造粒装置 [P].

丁振中 ;

张超 ;

高小燕 ;

沈兴亮 ;

陈磊 .

中国专利 :CN117718481A ,2024-03-19

[5]

稀土金属靶材及其制备方法 [P].

谢家豪 ;

彭卓玮 ;

贺茂青 ;

盛帅 ;

刘维赛 ;

焦照临 ;

赵瑞山 ;

朱鑫波 ;

何杨忠 ;

凌凯 ;

阳顺 .

中国专利 :CN119710327A ,2025-03-28

[6]

稀土金属靶材及其制备方法 [P].

王志强 ;

吴道高 ;

张小伟 ;

陈德宏 ;

张虎 ;

程军 ;

杨宏博 ;

杨秉政 .

中国专利 :CN106637100B ,2017-05-10

[7]

金属靶背管表面金属靶材的沉积装置、方法和金属靶 [P].

谢迎春 ;

黄仁忠 ;

王高民 ;

孙文 ;

王昊 .

中国专利 :CN114672799A ,2022-06-28

[8]

金属靶背管表面金属靶材的沉积装置、方法和金属靶 [P].

谢迎春 ;

黄仁忠 ;

王高民 ;

孙文 ;

王昊 .

中国专利 :CN114672799B ,2024-04-16

[9]

稀土金属旋转靶材的制造方法 [P].

李慧 ;

李静雅 ;

刘树峰 ;

鲁飞 ;

刘小鱼 ;

孙良成 ;

娄树普 ;

温永清 ;

王誉 .

中国专利 :CN107799253A ,2018-03-13

[10]

含贵金属的金属基陶瓷复合靶材的制造方法 [P].

陈荣志 ;

陈淑华 ;

洪胤庭 ;

陈福左 ;

刘正同 .

中国专利 :CN101638771A ,2010-02-03

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