金属靶背管表面金属靶材的沉积装置、方法和金属靶

被引：0

申请号：

CN202210330774.5

申请日：

2022-03-30

公开(公告)号：

CN114672799A

公开(公告)日：

2022-06-28

发明(设计)人：

谢迎春黄仁忠王高民孙文王昊

申请人：

申请人地址：

510650 广东省广州市天河区长兴路363号

IPC主分类号：

C23C2404

IPC分类号：

C23C2408 C23C1434

代理机构：

北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463

代理人：

何兰兰

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-07-15	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 24/04 申请日:20220330
2022-06-28	公开	公开

共 50 条

[1]

金属靶背管表面金属靶材的沉积装置、方法和金属靶 [P].

谢迎春 ;

黄仁忠 ;

王高民 ;

孙文 ;

王昊 .

中国专利 :CN114672799B ,2024-04-16

[2]

稀土金属旋转靶材的制造方法 [P].

李慧 ;

李静雅 ;

刘树峰 ;

鲁飞 ;

刘小鱼 ;

孙良成 ;

娄树普 ;

温永清 ;

王誉 .

中国专利 :CN107799253A ,2018-03-13

[3]

一种金属旋转靶材表面抛光装置 [P].

孔伟华 ;

马贺 ;

董冬青 .

中国专利 :CN215788886U ,2022-02-11

[4]

一种金属旋转靶材 [P].

涂代旺 ;

黄勇彪 ;

周贤界 .

中国专利 :CN222008009U ,2024-11-15

[5]

检测金属靶材溅射性能的方法 [P].

鲍明东 .

中国专利 :CN115595544A ,2023-01-13

[6]

检测金属靶材溅射性能的方法 [P].

鲍明东 .

中国专利 :CN115595544B ,2024-05-28

[7]

贵金属靶材的制备方法 [P].

李心然 ;

赵泽良 ;

王永超 .

中国专利 :CN121004272A ,2025-11-25

[8]

一种金属靶材表面抛光装置 [P].

杨小岗 .

中国专利 :CN211916412U ,2020-11-13

[9]

一种金属靶材表面喷漆装置 [P].

赵久祥 .

中国专利 :CN214211032U ,2021-09-17

[10]

难熔金属旋转靶材等温挤压生产方法 [P].

曹兴民 ;

庄志杰 ;

贾泽夏 .

中国专利 :CN104846341B ,2015-08-19

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