一种实现稳定化学计量比的金属氧化物薄膜制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411946833.7

申请日：

2024-12-27

公开(公告)号：

CN119615063B

公开(公告)日：

2025-12-09

发明(设计)人：

张跃冉义师张铮张先坤李瑞山洪孟羽张彦哲刘一禾姜鹤曹志宏贾昊周燕

申请人：

北京科技大学

申请人地址：

100083 北京市海淀区学院路30号

IPC主分类号：

C23C14/08

IPC分类号：

C23C14/35 C23C14/54 B82Y30/00 B82Y40/00

代理机构：

北京盛询知识产权代理有限公司 11901

代理人：

高志婷

法律状态：

公开

国省代码：

辽宁省葫芦岛市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-14	公开	公开
2025-12-09	授权	授权
2025-04-01	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/08申请日:20241227

共 50 条

[1]

一种实现稳定化学计量比的金属氧化物薄膜制备方法 [P].

张跃 ;

冉义师 ;

张铮 ;

张先坤 ;

李瑞山 ;

洪孟羽 ;

张彦哲 ;

刘一禾 ;

姜鹤 ;

曹志宏 ;

贾昊 ;

周燕 .

中国专利 :CN119615063A ,2025-03-14

[2]

亚化学计量金属氧化物薄膜 [P].

J·罗泽恩 ;

M·M·弗兰克 ;

小川洋平 .

中国专利 :CN114072537A ,2022-02-18

[3]

金属氧化物薄膜的制备方法 [P].

李言荣 ;

陶伯万 ;

陈寅 ;

刘兴钊 ;

朱俊 ;

吴传贵 ;

吴健 .

中国专利 :CN100469940C ,2006-03-01

[4]

一种等化学计量比三元氧化物薄膜的制备方法 [P].

汤振杰 .

中国专利 :CN111807408A ,2020-10-23

[5]

一种双金属氧化物薄膜制备方法及双金属氧化物薄膜 [P].

明帅强 ;

戴昕童 ;

夏洋 ;

屈芙蓉 ;

何萌 ;

赵丽莉 ;

吴非 ;

夏天 .

中国专利 :CN120924941A ,2025-11-11

[6]

一种金属氧化物薄膜的制备方法及金属氧化物薄膜 [P].

杨振怀 ;

郭远军 ;

卫红 ;

胡琅 ;

胡强 ;

肖永能 ;

刘宏 ;

郭可升 .

中国专利 :CN114561617A ,2022-05-31

[7]

一种金属氧化物薄膜的制备方法 [P].

单福凯 ;

孟优 ;

郭子栋 ;

刘奥 ;

刘国侠 .

中国专利 :CN106910688A ,2017-06-30

[8]

一种氧化物薄膜的制备方法、氧化物薄膜及其应用 [P].

姚蕾 ;

刘国栋 ;

丁早晖 .

中国专利 :CN117364042A ,2024-01-09

[9]

金属氧化物薄膜的制备方法 [P].

彭钊 .

中国专利 :CN111088484A ,2020-05-01

[10]

金属氧化物薄膜，沉积金属氧化物薄膜的方法及包含金属氧化物薄膜的装置 [P].

一杉太郎 .

中国专利 :CN107074662B ,2017-08-18

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