一种金属氧化物薄膜的制备方法及金属氧化物薄膜

被引：0

申请号：

CN202210204583.4

申请日：

2022-03-03

公开(公告)号：

CN114561617A

公开(公告)日：

2022-05-31

发明(设计)人：

杨振怀郭远军卫红胡琅胡强肖永能刘宏郭可升

申请人：

申请人地址：

528200 广东省佛山市南海区桂城街道环岛南路28号

IPC主分类号：

C23C1408

IPC分类号：

C23C1435

代理机构：

佛山市海融科创知识产权代理事务所(普通合伙) 44377

代理人：

罗尹清

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-06-17	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/08 申请日:20220303
2022-05-31	公开	公开

共 50 条

[1]

金属氧化物薄膜，沉积金属氧化物薄膜的方法及包含金属氧化物薄膜的装置 [P].

一杉太郎 .

中国专利 :CN107074662B ,2017-08-18

[2]

一种双金属氧化物薄膜制备方法及双金属氧化物薄膜 [P].

明帅强 ;

戴昕童 ;

夏洋 ;

屈芙蓉 ;

何萌 ;

赵丽莉 ;

吴非 ;

夏天 .

中国专利 :CN120924941A ,2025-11-11

[3]

金属氧化物薄膜的制备方法 [P].

李言荣 ;

陶伯万 ;

陈寅 ;

刘兴钊 ;

朱俊 ;

吴传贵 ;

吴健 .

中国专利 :CN100469940C ,2006-03-01

[4]

金属氧化物薄膜的制备方法 [P].

彭钊 .

中国专利 :CN111088484A ,2020-05-01

[5]

金属氧化物薄膜及其制造方法 [P].

福久孝治 ;

中岛章 ;

筱原贤次 ;

渡部俊也 ;

大崎寿 ;

芹川正 .

中国专利 :CN1564876A ,2005-01-12

[6]

一种金属氧化物薄膜的制备方法 [P].

单福凯 ;

孟优 ;

郭子栋 ;

刘奥 ;

刘国侠 .

中国专利 :CN106910688A ,2017-06-30

[7]

金属氧化物有序自组装图形化制备方法及金属氧化物薄膜 [P].

刘川 ;

李敏敏 .

中国专利 :CN107644806A ,2018-01-30

[8]

多组元金属氧化物薄膜的制备方法 [P].

肖定全 ;

肖志力 ;

朱居木 ;

郭华聪 ;

谢必正 .

中国专利 :CN1046356A ,1990-10-24

[9]

金属氧化物浆料、孔径可控的金属氧化物薄膜及其制备方法和应用 [P].

杨松旺 ;

邵君 ;

刘岩 .

中国专利 :CN108806829A ,2018-11-13

[10]

形成透明金属氧化物薄膜的方法 [P].

张正杰 .

中国专利 :CN101728008A ,2010-06-09

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