金属氧化物薄膜及其制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN02819627.9

申请日：

2002-09-30

公开(公告)号：

CN1564876A

公开(公告)日：

2005-01-12

发明(设计)人：

福久孝治中岛章筱原贤次渡部俊也大崎寿芹川正

申请人：

申请人地址：

日本神奈川县

IPC主分类号：

C23C836

IPC分类号：

C23C1408 C23C1458

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

郭煜;庞立志

法律状态：

专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移

国省代码：

引用

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共 50 条

[1]

一种金属氧化物薄膜的制备方法及金属氧化物薄膜 [P].

杨振怀 ;

郭远军 ;

卫红 ;

胡琅 ;

胡强 ;

肖永能 ;

刘宏 ;

郭可升 .

中国专利 :CN114561617A ,2022-05-31

[2]

金属氧化物薄膜，沉积金属氧化物薄膜的方法及包含金属氧化物薄膜的装置 [P].

一杉太郎 .

中国专利 :CN107074662B ,2017-08-18

[3]

金属氧化物膜及其制造方法 [P].

董树新 ;

太田理一郎 ;

村濑雅和 ;

伊关崇 ;

大砂哲 .

中国专利 :CN108699718B ,2018-10-23

[4]

金属氧化物薄膜的制造方法及制造装置 [P].

安井宽治 ;

西山洋 ;

筑地正俊 ;

井上泰宣 ;

高田雅介 .

中国专利 :CN101680088B ,2010-03-24

[5]

用于OLED的金属氧化物薄膜基板及其制造方法 [P].

李柱永 ;

朴峻亨 ;

刘泳祚 ;

金序炫 ;

朴正佑 ;

白逸姬 ;

尹根尙 ;

李铉熙 ;

崔殷豪 .

中国专利 :CN103730600A ,2014-04-16

[6]

一种薄膜金属氧化物结构及其制造方法 [P].

宋阳 ;

许宏军 ;

张雷 ;

彭肇华 .

中国专利 :CN113026002A ,2021-06-25

[7]

薄膜金属氧化物结构及其制造方法 [P].

K·费森贝瑟 ;

J·M·芬德 ;

J·瑞姆达尼 ;

R·德鲁派德 ;

W·J·欧姆斯 .

中国专利 :CN1449458A ,2003-10-15

[8]

金属合金氧化物的溅射薄膜 [P].

弗朗克·霍华德·吉利里 .

中国专利 :CN85109342A ,1986-10-08

[9]

金属氧化物薄膜的制备方法 [P].

李言荣 ;

陶伯万 ;

陈寅 ;

刘兴钊 ;

朱俊 ;

吴传贵 ;

吴健 .

中国专利 :CN100469940C ,2006-03-01

[10]

金属氧化物薄膜的制备方法 [P].

彭钊 .

中国专利 :CN111088484A ,2020-05-01

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2005-02-02	专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移	专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移变更事项:申请人变更后权利人:东陶机器株式会社变更前权利人:株式会社先端技术培育系统变更事项:地址变更前权利人:日本神奈川县变更后权利人:日本福冈县北九州市变更事项:共同申请人变更前权利人:无变更后权利人:株式会社东京大学TLO 登记生效日:20041217
2009-06-24	专利申请权、专利权的转移(专利权的转移)	专利申请权、专利权的转移(专利权的转移) 变更事项:专利权人变更前权利人:国立大学法人东京大学变更后权利人:独立行政法人产业技术综合研究所变更事项:地址变更前权利人:日本东京都变更后权利人:日本东京都登记生效日:20090515
2005-03-09	实质审查的生效	实质审查的生效
2005-01-12	公开	公开
2016-11-16	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件序号:101687375921 IPC(主分类):C23C 8/36 专利号:ZL028196279 申请日:20020930 授权公告日:20071107 终止日期:20150930 号牌文件类型代码:1605
2009-06-24	专利申请权、专利权的转移(专利权的转移)	专利申请权、专利权的转移(专利权的转移) 变更事项:专利权人变更前权利人:TOTO株式会社变更后权利人:国立大学法人东京大学变更事项:地址变更前权利人:日本福冈县北九州市变更后权利人:日本东京都登记生效日:20090515 变更事项:共同专利权人变更前权利人:国立大学法人东京大学变更后权利人:无
2007-11-07	授权	授权
2008-01-09	专利申请权、专利权的转移(专利权的转移)	专利申请权、专利权的转移(专利权的转移) 变更事项:专利权人变更前权利人:TOTO株式会社变更后权利人:TOTO株式会社变更事项:地址变更前权利人:日本福冈县北九州市变更后权利人:日本福冈县北九州市登记生效日:20071130 变更事项:共同专利权人变更前权利人:株式会社东京大学TLO 变更后权利人:国立大学法人东京大学