一种气体流量控制柜

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202511375943.7

申请日：

2025-09-25

公开(公告)号：

CN121028874A

公开(公告)日：

2025-11-28

发明(设计)人：

汪宇澄汪雨汪小龙罗滔罗日伟

申请人：

九未实业（上海）有限公司

申请人地址：

201707 上海市青浦区香花桥街道胜利路1680号21幢3-4

IPC主分类号：

G05D7/06

IPC分类号：

代理机构：

代理人：

法律状态：

公开

国省代码：

上海市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-11-28	公开	公开
2025-12-16	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G05D 7/06申请日:20250925

共 50 条

[1]

气体流量控制柜 [P].

吴雷雷 ;

冯辉 ;

陈之敏 ;

胡程辉 ;

李仲杰 ;

刘伯兴 ;

李灿 ;

李志敏 .

中国专利 :CN110989700A ,2020-04-10

[2]

一种便于维护使用的气体流量控制柜 [P].

汪宇澄 ;

汪雨 ;

陈尚加 ;

罗滔 .

中国专利 :CN218103745U ,2022-12-20

[3]

一种气体流量控制装置及其气体流量控制方法 [P].

魏强 .

中国专利 :CN108231620A ,2018-06-29

[4]

一种化学气相沉积工艺用气体流量控制柜 [P].

刘超 ;

陈亮 .

中国专利 :CN218388199U ,2023-01-24

[5]

一种气体流量控制箱 [P].

张浩 ;

丁贵江 .

中国专利 :CN222896380U ,2025-05-23

[6]

一种气体流量控制系统 [P].

乔冠东 .

中国专利 :CN204816454U ,2015-12-02

[7]

气体流量控制混合控制装置 [P].

苏铠梁 ;

李召平 .

中国专利 :CN223624551U ,2025-12-02

[8]

一种气体流量控制方法 [P].

代井波 ;

荣立烨 .

中国专利 :CN101916121A ,2010-12-15

[9]

一种气体流量控制装置 [P].

邵恒 .

中国专利 :CN208477387U ,2019-02-05

[10]

一种气体流量控制装置 [P].

孟凡业 ;

王洪琨 ;

孟祥辉 .

中国专利 :CN212515484U ,2021-02-09

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