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一种晶圆擦洗设备、晶圆擦洗系统和抛光设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202423087737.X
申请日：
2024-12-14
公开(公告)号：
CN223624938U
公开(公告)日：
2025-12-02
发明(设计)人：
李灯
李长坤
申请人：
华海清科股份有限公司
申请人地址：
300350 天津市津南区咸水沽镇聚兴道11号
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
B08B1/12
B08B1/36
B08B13/00
B24B29/02
B24B49/16
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
天津市
市辖区
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-12-02 | 授权 | 授权 |