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竖直擦洗装置、晶圆加工设备、晶圆擦洗方法及存储介质

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202511178930.0
申请日：
2025-04-18
公开(公告)号：
CN121035009A
公开(公告)日：
2025-11-28
发明(设计)人：
李灯 刘洪旺 曹自立 李长坤
申请人：
华海清科（北京）科技有限公司
申请人地址：
100176 北京市大兴区经济技术开发区地盛北街1号院40号楼11层1107室
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/687 H01L21/02 B08B1/14 B08B1/20 B08B11/02 B08B15/02 B08B1/52 B08B1/12 B08B1/32
代理机构：
代理人：
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
安徽省 宣城市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-12-16 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20250418
2025-11-28 公开 公开
共 50 条
[1]
竖直擦洗装置、晶圆加工设备、晶圆擦洗方法及存储介质 [P]. 
李灯 ;
刘洪旺 ;
曹自立 ;
李长坤 .
中国专利 :CN120033122A ,2025-05-23
[2]
竖直擦洗装置、晶圆加工设备、晶圆擦洗方法及存储介质 [P]. 
李灯 ;
刘洪旺 ;
曹自立 ;
李长坤 .
中国专利 :CN120033122B ,2025-08-19
[3]
竖直擦洗装置、晶圆擦洗方法、晶圆加工设备及存储介质 [P]. 
李灯 ;
刘洪旺 ;
曹自立 ;
李长坤 .
中国专利 :CN120221468A ,2025-06-27
[4]
晶圆裂片加工方法、晶圆加工设备及存储介质 [P]. 
高昆 ;
黄韶湖 ;
谢海龙 .
中国专利 :CN115139419B ,2024-11-08
[5]
晶圆裂片加工方法、晶圆加工设备及存储介质 [P]. 
高昆 ;
黄韶湖 ;
谢海龙 .
中国专利 :CN115139419A ,2022-10-04
[6]
一种晶圆擦洗设备、晶圆擦洗系统和抛光设备 [P]. 
李灯 ;
李长坤 .
中国专利 :CN223624938U ,2025-12-02
[7]
一种晶圆擦洗设备、晶圆擦洗系统和抛光设备 [P]. 
李灯 ;
李长坤 .
中国专利 :CN119542201A ,2025-02-28
[8]
晶圆加工方法、设备及存储介质 [P]. 
高昆 ;
谢海龙 ;
黄韶湖 .
中国专利 :CN115122513A ,2022-09-30
[9]
晶圆加工方法、设备及存储介质 [P]. 
高昆 ;
谢海龙 ;
黄韶湖 .
中国专利 :CN115122513B ,2025-01-03
[10]
晶圆承载装置、晶圆加工设备及晶圆加工设备的控制方法 [P]. 
万先进 ;
锁志勇 ;
朱松 ;
秦宝宏 ;
任倚萱 ;
魏兴亮 ;
熊泰贻 .
中国专利 :CN120341162A ,2025-07-18
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