一种基于镍金属加热的MEMS微加热器及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202511648131.5

申请日：

2025-11-12

公开(公告)号：

CN121099466A

公开(公告)日：

2025-12-09

发明(设计)人：

耿文平苗勇毅范志强丑修建乔骁骏贺浩然马万里许凯

申请人：

中北大学

申请人地址：

030051 山西省太原市尖草坪区学院路3号

IPC主分类号：

H05B3/06

IPC分类号：

H05B3/03 H05B3/12 H05B1/02 B81B7/02 B81C1/00

代理机构：

太原科卫专利事务所(普通合伙) 14100

代理人：

王二红

法律状态：

公开

国省代码：

山西省太原市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-12-09	公开	公开
2025-12-26	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H05B 3/06申请日:20251112

共 50 条

[1]

一种MEMS微加热器及其制备方法 [P].

方荣朋 ;

林佑昇 ;

郑汉武 ;

郑林 .

中国专利 :CN118183611A ,2024-06-14

[2]

一种基于铝金属的MEMS微加热器制作方法 [P].

郭凌 ;

陈龙泉 ;

靳亚康 .

中国专利 :CN117776097A ,2024-03-29

[3]

加热元件、微加热器及其制备方法 [P].

陈滢 ;

李昕欣 .

中国专利 :CN112312600A ,2021-02-02

[4]

一种新型微加热器及其制备方法 [P].

李卓 ;

毛云峰 ;

徐海霞 ;

崔鹏义 ;

吴志根 .

中国专利 :CN103708410A ,2014-04-09

[5]

一种热应力隔离的MEMS微加热器互联基板及其制备方法 [P].

张威 ;

江少波 ;

苏卫国 ;

邓康发 ;

郑焕 ;

夏文 ;

万松 ;

李雷 ;

朱宁莉 .

中国专利 :CN103274349A ,2013-09-04

[6]

基于微加热器的电加热吸烟系统 [P].

刘剑 ;

王维维 ;

胡世龙 ;

阮艺斌 ;

惠建权 ;

万强 .

中国专利 :CN108338417B ,2018-07-31

[7]

一种高加热效率的MEMS加热器及其制备方法 [P].

陶继方 ;

田伟 ;

林敬华 ;

李岩 .

中国专利 :CN121174314A ,2025-12-19

[8]

一种基于液态金属的柔性电阻微加热器 [P].

桂林 ;

张伦嘉 ;

高猛 .

中国专利 :CN110392456B ,2019-10-29

[9]

单片集成的CMOS加MEMS的微加热器及制备方法 [P].

李晓波 ;

蒋一博 .

中国专利 :CN109467044A ,2019-03-15

[10]

单片集成的CMOS加MEMS的微加热器及制备方法 [P].

李晓波 ;

蒋一博 .

中国专利 :CN109467044B ,2024-04-19

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