一种热应力隔离的MEMS微加热器互联基板及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310149322.8

申请日：

2013-04-26

公开(公告)号：

CN103274349A

公开(公告)日：

2013-09-04

发明(设计)人：

张威江少波苏卫国邓康发郑焕夏文万松李雷朱宁莉

申请人：

申请人地址：

100871 北京市海淀区颐和园路5号

IPC主分类号：

B81B700

IPC分类号：

B81C100

代理机构：

北京万象新悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11360

代理人：

王岩

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-09-04	公开	公开
2013-10-09	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101527525721 IPC(主分类):B81B 7/00 专利申请号:2013101493228 申请日:20130426
2016-03-16	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101729176551 IPC(主分类):B81B 7/00 专利申请号:2013101493228 申请公布日:20130904

共 50 条

[1]

一种MEMS微加热器及其制备方法 [P].

方荣朋 ;

林佑昇 ;

郑汉武 ;

郑林 .

中国专利 :CN118183611A ,2024-06-14

[2]

一种基于镍金属加热的MEMS微加热器及其制备方法 [P].

耿文平 ;

苗勇毅 ;

范志强 ;

丑修建 ;

乔骁骏 ;

贺浩然 ;

马万里 ;

许凯 .

中国专利 :CN121099466A ,2025-12-09

[3]

一种高加热效率的MEMS加热器及其制备方法 [P].

陶继方 ;

田伟 ;

林敬华 ;

李岩 .

中国专利 :CN121174314A ,2025-12-19

[4]

加热元件、微加热器及其制备方法 [P].

陈滢 ;

李昕欣 .

中国专利 :CN112312600A ,2021-02-02

[5]

一种MEMS器件热应力隔离结构 [P].

王文婧 ;

郭群英 ;

黄斌 ;

王鹏 ;

陈博 ;

陈璞 ;

何凯旋 .

中国专利 :CN104192790A ,2014-12-10

[6]

一种新型微加热器及其制备方法 [P].

李卓 ;

毛云峰 ;

徐海霞 ;

崔鹏义 ;

吴志根 .

中国专利 :CN103708410A ,2014-04-09

[7]

单片集成的CMOS加MEMS的微加热器及制备方法 [P].

李晓波 ;

蒋一博 .

中国专利 :CN109467044A ,2019-03-15

[8]

单片集成的CMOS加MEMS的微加热器及制备方法 [P].

李晓波 ;

蒋一博 .

中国专利 :CN109467044B ,2024-04-19

[9]

一种具有微纳结构增强的微加热器及其制备方法 [P].

李铁 ;

何云乾 ;

刘延祥 ;

王跃林 .

中国专利 :CN110182754B ,2019-08-30

[10]

一种微加热器及气体传感器 [P].

孙旭辉 ;

吴庆乐 ;

胡鑫 ;

徐红艳 ;

张书敏 .

中国专利 :CN207423635U ,2018-05-29

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