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溅射沉积设备和方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202080092214.X
申请日：
2020-11-10
公开(公告)号：
CN114930490B
公开(公告)日：
2025-12-02
发明(设计)人：
M.伦德尔
申请人：
戴森技术有限公司
申请人地址：
英国威尔特郡
IPC主分类号：
H01J37/32
IPC分类号：
H01J37/34
代理机构：
北京市柳沈律师事务所 11105
代理人：
张邦帅
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-12-02 | 授权 | 授权 |