量测方法、装置和计算机程序

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202480027898.3

申请日：

2024-04-09

公开(公告)号：

CN121127803A

公开(公告)日：

2025-12-12

发明(设计)人：

V·G·扎卡 O·V·兹维尔

申请人：

ASML荷兰有限公司

申请人地址：

荷兰维德霍温

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

郑振

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-12-12	公开	公开

共 50 条

[1]

量测方法、设备和计算机程序 [P].

S·阿尔·拉赫曼 .

中国专利 :CN110300928A ,2019-10-01

[2]

量测方法、设备和计算机程序 [P].

阿尔伯托·达科斯特阿萨法劳 ;

M·哈伊赫曼达 .

中国专利 :CN112352202A ,2021-02-09

[3]

量测方法、设备和计算机程序 [P].

S·塔拉布林 ;

S·P·S·哈斯廷斯 ;

A·E·A·库伦 .

中国专利 :CN109690409A ,2019-04-26

[4]

量测方法、设备和计算机程序 [P].

阿尔伯托·达科斯特阿萨法劳 ;

M·哈伊赫曼达 .

:CN112352202B ,2024-04-09

[5]

量测方法和设备以及计算机程序 [P].

马克·约翰尼斯·努特 ;

S·G·J·马西森 ;

K·巴塔查里亚 ;

边珍武 ;

金贤洙 ;

张源宰 ;

T·D·戴维斯 .

中国专利 :CN110998448B ,2020-04-10

[6]

量测方法、图案形成装置、设备和计算机程序 [P].

周子理 ;

N·潘迪 ;

O·V·兹维尔 ;

P·沃纳尔 ;

M·范德沙尔 ;

E·G·麦克纳马拉 ;

A·J·登博夫 ;

P·C·欣南 ;

M·博兹库尔特 ;

J·J·奥腾斯 ;

K·布哈塔查里亚 ;

M·库比斯 .

中国专利 :CN113196172A ,2021-07-30

[7]

量测方法、量测设备、器件制造方法和计算机程序产品 [P].

理查德·金塔尼利亚 ;

A·J·登鲍埃夫 .

:CN113376975B ,2025-01-07

[8]

量测方法、量测设备、器件制造方法和计算机程序产品 [P].

理查德·金塔尼利亚 ;

A·J·登鲍埃夫 .

中国专利 :CN113376975A ,2021-09-10

[9]

量测方法、图案形成装置、设备和计算机程序 [P].

周子理 ;

N·潘迪 ;

O·V·兹维尔 ;

P·沃纳尔 ;

M·范德沙尔 ;

E·G·麦克纳马拉 ;

A·J·登博夫 ;

P·C·欣南 ;

M·博兹库尔特 ;

J·J·奥腾斯 ;

K·布哈塔查里亚 ;

M·库比斯 .

:CN113196172B ,2024-08-09

[10]

量测方法和设备、计算机程序和光刻系统 [P].

T·希尤维斯 ;

H·A·J·克瑞姆 .

中国专利 :CN109564393B ,2019-04-02

← 1 2 3 4 5 →