量测方法、设备和计算机程序

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201980042725.8

申请日：

2019-05-01

公开(公告)号：

CN112352202A

公开(公告)日：

2021-02-09

发明(设计)人：

阿尔伯托·达科斯特阿萨法劳 M·哈伊赫曼达

申请人：

申请人地址：

荷兰维德霍温

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

张启程

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-03-02	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20190501
2021-02-09	公开	公开

共 50 条

[1]

量测方法、设备和计算机程序 [P].

阿尔伯托·达科斯特阿萨法劳 ;

M·哈伊赫曼达 .

:CN112352202B ,2024-04-09

[2]

量测方法、设备和计算机程序 [P].

S·阿尔·拉赫曼 .

中国专利 :CN110300928A ,2019-10-01

[3]

量测方法、设备和计算机程序 [P].

S·塔拉布林 ;

S·P·S·哈斯廷斯 ;

A·E·A·库伦 .

中国专利 :CN109690409A ,2019-04-26

[4]

量测方法和设备以及计算机程序 [P].

马克·约翰尼斯·努特 ;

S·G·J·马西森 ;

K·巴塔查里亚 ;

边珍武 ;

金贤洙 ;

张源宰 ;

T·D·戴维斯 .

中国专利 :CN110998448B ,2020-04-10

[5]

量测方法、量测设备、器件制造方法和计算机程序产品 [P].

理查德·金塔尼利亚 ;

A·J·登鲍埃夫 .

:CN113376975B ,2025-01-07

[6]

量测方法、量测设备、器件制造方法和计算机程序产品 [P].

理查德·金塔尼利亚 ;

A·J·登鲍埃夫 .

中国专利 :CN113376975A ,2021-09-10

[7]

量测方法和设备、计算机程序和光刻系统 [P].

T·希尤维斯 ;

H·A·J·克瑞姆 .

中国专利 :CN109564393B ,2019-04-02

[8]

量测方法和设备、计算机程序及光刻系统 [P].

N·潘迪 ;

周子理 ;

A·E·A·科伦 ;

G·范德祖克 .

中国专利 :CN108139682A ,2018-06-08

[9]

量测方法、装置和计算机程序 [P].

V·G·扎卡 ;

O·V·兹维尔 .

:CN121127803A ,2025-12-12

[10]

量测方法和设备、计算机程序和光刻系统 [P].

P·J·特纳 ;

A·蔡亚马斯 .

:CN113614644B ,2024-12-13

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