量测方法和设备、计算机程序及光刻系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201680057525.6

申请日：

2016-09-13

公开(公告)号：

CN108139682A

公开(公告)日：

2018-06-08

发明(设计)人：

N·潘迪周子理 A·E·A·科伦 G·范德祖克

申请人：

申请人地址：

荷兰维德霍温

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

王静

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-06-08	公开	公开
2020-12-25	授权	授权
2018-07-03	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20160913

共 50 条

[1]

量测方法和设备、计算机程序和光刻系统 [P].

T·希尤维斯 ;

H·A·J·克瑞姆 .

中国专利 :CN109564393B ,2019-04-02

[2]

量测方法和设备、计算机程序及光刻系统 [P].

曾思翰 ;

彭玥霖 ;

方仁宇 ;

A·J·登博夫 ;

A·斯塔杰 ;

洪敬懿 ;

P·沃纳尔 .

中国专利 :CN107771271A ,2018-03-06

[3]

量测方法和设备、计算机程序和光刻系统 [P].

P·J·特纳 ;

A·蔡亚马斯 .

:CN113614644B ,2024-12-13

[4]

量测方法和设备、计算机程序和光刻系统 [P].

P·J·特纳 ;

A·蔡亚马斯 .

中国专利 :CN113614644A ,2021-11-05

[5]

量测方法、设备和计算机程序 [P].

S·阿尔·拉赫曼 .

中国专利 :CN110300928A ,2019-10-01

[6]

量测方法、设备和计算机程序 [P].

阿尔伯托·达科斯特阿萨法劳 ;

M·哈伊赫曼达 .

中国专利 :CN112352202A ,2021-02-09

[7]

量测方法、设备和计算机程序 [P].

S·塔拉布林 ;

S·P·S·哈斯廷斯 ;

A·E·A·库伦 .

中国专利 :CN109690409A ,2019-04-26

[8]

量测方法、设备和计算机程序 [P].

阿尔伯托·达科斯特阿萨法劳 ;

M·哈伊赫曼达 .

:CN112352202B ,2024-04-09

[9]

量测方法和光刻方法、光刻单元和计算机程序 [P].

K·布哈塔查里亚 .

:CN117970750A ,2024-05-03

[10]

量测方法和光刻方法、光刻单元和计算机程序 [P].

K·布哈塔查里亚 .

中国专利 :CN108700833A ,2018-10-23

← 1 2 3 4 5 →