量测方法和设备、计算机程序及光刻系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201680033826.5

申请日：

2016-04-18

公开(公告)号：

CN107771271A

公开(公告)日：

2018-03-06

发明(设计)人：

曾思翰彭玥霖方仁宇 A·J·登博夫 A·斯塔杰洪敬懿 P·沃纳尔

申请人：

申请人地址：

荷兰维德霍温

IPC主分类号：

G01B1124

IPC分类号：

G03F720 G01B1127

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

王茂华;吕世磊

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-11-06	授权	授权
2018-03-06	公开	公开
2018-03-30	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/24 申请日:20160418

共 50 条

[1]

量测方法和设备、计算机程序及光刻系统 [P].

N·潘迪 ;

周子理 ;

A·E·A·科伦 ;

G·范德祖克 .

中国专利 :CN108139682A ,2018-06-08

[2]

量测方法和设备、计算机程序和光刻系统 [P].

P·J·特纳 ;

A·蔡亚马斯 .

:CN113614644B ,2024-12-13

[3]

量测方法和设备、计算机程序和光刻系统 [P].

T·希尤维斯 ;

H·A·J·克瑞姆 .

中国专利 :CN109564393B ,2019-04-02

[4]

量测方法和设备、计算机程序和光刻系统 [P].

P·J·特纳 ;

A·蔡亚马斯 .

中国专利 :CN113614644A ,2021-11-05

[5]

量测方法和光刻方法、光刻单元和计算机程序 [P].

K·布哈塔查里亚 .

:CN117970750A ,2024-05-03

[6]

量测方法和光刻方法、光刻单元和计算机程序 [P].

K·布哈塔查里亚 .

中国专利 :CN108700833A ,2018-10-23

[7]

计量方法和设备、计算机程序和光刻系统 [P].

柳星兰 ;

H·J·H·斯米尔德 ;

Y-L·彭 ;

H·E·切克利 ;

J·佩罗 ;

R·J·F·范哈伦 .

中国专利 :CN107430350B ,2017-12-01

[8]

量测方法、设备和计算机程序 [P].

S·阿尔·拉赫曼 .

中国专利 :CN110300928A ,2019-10-01

[9]

量测方法、设备和计算机程序 [P].

阿尔伯托·达科斯特阿萨法劳 ;

M·哈伊赫曼达 .

中国专利 :CN112352202A ,2021-02-09

[10]

量测方法、设备和计算机程序 [P].

S·塔拉布林 ;

S·P·S·哈斯廷斯 ;

A·E·A·库伦 .

中国专利 :CN109690409A ,2019-04-26

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