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インピーダンス整合高周波（ＲＦ）ロッドを含む加熱ペデスタル[ja]
被引：0
申请号：
JP20250531981
申请日：
2023-12-01
公开(公告)号：
JP2025540790A
公开(公告)日：
2025-12-16
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/31
IPC分类号：
C23C16/458
C23C16/50
H01L21/3065
H05H1/46
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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