厚度测量工装和厚度测量系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202422923140.8

申请日：

2024-11-28

公开(公告)号：

CN223743596U

公开(公告)日：

2025-12-30

发明(设计)人：

代庆秋袁鹰赵伟邓天海

申请人：

先导赛翡（重庆）半导体有限公司

申请人地址：

401329 重庆市沙坪坝区高新区西永街道西园二路98号附7号标准厂房三期07栋102,103,203,502,08栋101

IPC主分类号：

H01L21/66

IPC分类号：

G01B5/06 H01L21/687

代理机构：

重庆中之信知识产权代理事务所(普通合伙) 50213

代理人：

辛云

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-12-30	授权	授权

共 50 条

[1]

厚度测量工装 [P].

高蒙 ;

肖军宝 ;

唐洋洋 .

中国专利 :CN215491450U ,2022-01-11

[2]

镜片厚度测量系统 [P].

陶丽芳 .

中国专利 :CN206648563U ,2017-11-17

[3]

厚度测量系统 [P].

杨鑫 .

中国专利 :CN103148789A ,2013-06-12

[4]

厚度测量系统 [P].

具尚贤 ;

金奭镇 ;

李智勋 .

韩国专利 :CN120731348A ,2025-09-30

[5]

厚度测量系统以及厚度测量方法 [P].

古田哲夫 ;

石冢照雄 .

中国专利 :CN103890540A ,2014-06-25

[6]

厚度测量系统和方法 [P].

迈克尔·詹金斯 ;

彼得·诺伊曼 .

中国专利 :CN114026381A ,2022-02-08

[7]

薄板厚度测量系统 [P].

赵春花 .

中国专利 :CN102840847A ,2012-12-26

[8]

漆膜厚度测量系统 [P].

侯勇 ;

李秋诚 ;

张冬冬 .

中国专利 :CN216049693U ,2022-03-15

[9]

海冰厚度测量系统 [P].

郭井学 ;

孙波 ;

李丙瑞 ;

李娜 ;

唐学远 ;

李群 .

中国专利 :CN101476864A ,2009-07-08

[10]

晶圆厚度测量装置及含此装置的晶圆厚度测量系统 [P].

张瑞 ;

何海峰 .

中国专利 :CN207407780U ,2018-05-25

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