共 50 条
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基板支承单元以及包括其的基板处理装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510484016.2
申请日：
2025-04-17
公开(公告)号：
CN121171967A
公开(公告)日：
2025-12-19
发明(设计)人：
朴埈奭
成珍一
申请人：
细美事有限公司
申请人地址：
韩国忠清南道
IPC主分类号：
H01L21/687
IPC分类号：
H01L21/67
H01J37/32
代理机构：
北京钲霖知识产权代理有限公司 11722
代理人：
李英艳;玉昌峰
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-12-19 | 公开 | 公开 |