光外差干涉测量装置以及光外差干涉测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202480034330.4

申请日：

2024-03-25

公开(公告)号：

CN121219570A

公开(公告)日：

2025-12-26

发明(设计)人：

加藤尚明泷口优田中博

申请人：

浜松光子学株式会社

申请人地址：

日本

IPC主分类号：

G01N21/23

IPC分类号：

G01B9/02003 G01J9/02 G01N21/27

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

杨琦

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-12-26	公开	公开

共 50 条

[1]

光外差干涉测量装置和光外差干涉测量方法 [P].

加藤尚明 ;

泷口优 ;

田中博 .

日本专利 :CN118215835A ,2024-06-18

[2]

干涉测量方法、干涉测量装置以及干涉测量系统 [P].

路伟涛 ;

任天鹏 ;

陈略 .

中国专利 :CN115308681A ,2022-11-08

[3]

干涉测量方法、干涉测量装置以及干涉测量系统 [P].

路伟涛 ;

任天鹏 ;

陈略 .

中国专利 :CN115308681B ,2025-04-11

[4]

基于光路补偿的激光外差干涉测量方法与装置 [P].

谭久彬 ;

刁晓飞 ;

胡鹏程 ;

杨千惠 ;

白洋 .

中国专利 :CN102865820A ,2013-01-09

[5]

基于半波片的滚转角外差干涉测量装置及测量方法 [P].

乐燕芬 ;

金施嘉珞 ;

金涛 .

中国专利 :CN110595393A ,2019-12-20

[6]

干涉测量方法和干涉测量系统 [P].

B·多班德 .

德国专利 :CN117685872A ,2024-03-12

[7]

干涉测量系统以及干涉测量方法 [P].

符建 ;

刘旭 ;

匡翠方 ;

丁志华 .

中国专利 :CN120489354A ,2025-08-15

[8]

干涉测量装置和干涉测量方法 [P].

高桥永齐 ;

河合直弥 ;

里园浩 .

日本专利 :CN120936863A ,2025-11-11

[9]

基于外差干涉的光谱共焦位移测量系统及其测量方法 [P].

王之一 ;

冯晓鹏 ;

王建立 ;

糜小涛 ;

李烁 .

中国专利 :CN119394192A ,2025-02-07

[10]

基于外差干涉的光谱共焦位移测量系统及其测量方法 [P].

王之一 ;

冯晓鹏 ;

王建立 ;

糜小涛 ;

李烁 .

中国专利 :CN119394192B ,2025-03-07

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