一种正性光刻胶组合物及其制备方法和应用

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202511396221.X
申请日
2025-09-28
公开(公告)号
CN121209205A
公开(公告)日
2025-12-26
发明(设计)人
霍建辉 张兵 向文胜 赵建龙 周浩杰 李双庆 袁会芳
申请人
江苏艾森半导体材料股份有限公司 艾森半导体材料(南通)有限公司
申请人地址
215341 江苏省苏州市昆山市千灯镇黄浦江路1647号
IPC主分类号
G03F7/004
IPC分类号
G09F9/33 G03F7/039 H10K71/20
代理机构
北京品源专利代理有限公司 11332
代理人
刘逸卿
法律状态
公开
国省代码
江苏省 苏州市
引用
下载
收藏
共 50 条
[1]
一种正性光刻胶组合物及其应用 [P]. 
王璨 ;
张宁 ;
李冰 ;
鲁代仁 ;
裴坚 ;
董栋 .
中国专利 :CN120386143A ,2025-07-29
[2]
一种正性光刻胶组合物及其应用 [P]. 
霍建辉 ;
张兵 ;
向文胜 ;
赵建龙 ;
陆晓健 ;
袁会芳 ;
周浩杰 ;
李双庆 ;
董仲舒 .
中国专利 :CN121187074A ,2025-12-23
[3]
正性光刻胶组合物及其制备方法、应用 [P]. 
周元基 .
中国专利 :CN114089602B ,2025-08-01
[4]
正性光刻胶组合物及其制备方法、应用 [P]. 
周元基 .
中国专利 :CN114089602A ,2022-02-25
[5]
正性光刻胶组合物及其应用 [P]. 
余亮 ;
高晓义 ;
于洪超 .
中国专利 :CN120233631A ,2025-07-01
[6]
一种正性光刻胶组合物及其制备方法 [P]. 
徐娟 ;
周建 ;
王猛 .
中国专利 :CN112650025A ,2021-04-13
[7]
一种正性光刻胶及其制备方法和应用 [P]. 
谢国雄 ;
王继冬 ;
邝宁春 ;
李学伟 .
中国专利 :CN120335238A ,2025-07-18
[8]
正性光刻胶组成物及其制备方法 [P]. 
杨洪 ;
赵晓芳 ;
郭玲香 ;
林保平 .
中国专利 :CN102402119A ,2012-04-04
[9]
一种正性光刻胶组合物 [P]. 
何卿 ;
胡凡华 ;
朴大然 ;
卢克军 ;
张宁 .
中国专利 :CN113946099A ,2022-01-18
[10]
一种正性光刻胶组合物 [P]. 
何卿 ;
胡凡华 ;
朴大然 ;
卢克军 ;
张宁 .
中国专利 :CN113946099B ,2024-07-05