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一种正性光刻胶组合物及其制备方法和应用
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202511396221.X
申请日
:
2025-09-28
公开(公告)号
:
CN121209205A
公开(公告)日
:
2025-12-26
发明(设计)人
:
霍建辉
张兵
向文胜
赵建龙
周浩杰
李双庆
袁会芳
申请人
:
江苏艾森半导体材料股份有限公司
艾森半导体材料(南通)有限公司
申请人地址
:
215341 江苏省苏州市昆山市千灯镇黄浦江路1647号
IPC主分类号
:
G03F7/004
IPC分类号
:
G09F9/33
G03F7/039
H10K71/20
代理机构
:
北京品源专利代理有限公司 11332
代理人
:
刘逸卿
法律状态
:
公开
国省代码
:
江苏省 苏州市
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2025-12-26
公开
公开
共 50 条
[1]
一种正性光刻胶组合物及其应用
[P].
王璨
论文数:
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机构:
上海彤程电子材料有限公司
上海彤程电子材料有限公司
王璨
;
张宁
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机构:
上海彤程电子材料有限公司
上海彤程电子材料有限公司
张宁
;
李冰
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上海彤程电子材料有限公司
上海彤程电子材料有限公司
李冰
;
鲁代仁
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机构:
上海彤程电子材料有限公司
上海彤程电子材料有限公司
鲁代仁
;
裴坚
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机构:
上海彤程电子材料有限公司
上海彤程电子材料有限公司
裴坚
;
董栋
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机构:
上海彤程电子材料有限公司
上海彤程电子材料有限公司
董栋
.
中国专利
:CN120386143A
,2025-07-29
[2]
一种正性光刻胶组合物及其应用
[P].
霍建辉
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机构:
江苏艾森半导体材料股份有限公司
江苏艾森半导体材料股份有限公司
霍建辉
;
张兵
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机构:
江苏艾森半导体材料股份有限公司
江苏艾森半导体材料股份有限公司
张兵
;
向文胜
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机构:
江苏艾森半导体材料股份有限公司
江苏艾森半导体材料股份有限公司
向文胜
;
赵建龙
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江苏艾森半导体材料股份有限公司
江苏艾森半导体材料股份有限公司
赵建龙
;
陆晓健
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机构:
江苏艾森半导体材料股份有限公司
江苏艾森半导体材料股份有限公司
陆晓健
;
袁会芳
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机构:
江苏艾森半导体材料股份有限公司
江苏艾森半导体材料股份有限公司
袁会芳
;
周浩杰
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机构:
江苏艾森半导体材料股份有限公司
江苏艾森半导体材料股份有限公司
周浩杰
;
李双庆
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机构:
江苏艾森半导体材料股份有限公司
江苏艾森半导体材料股份有限公司
李双庆
;
董仲舒
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机构:
江苏艾森半导体材料股份有限公司
江苏艾森半导体材料股份有限公司
董仲舒
.
中国专利
:CN121187074A
,2025-12-23
[3]
正性光刻胶组合物及其制备方法、应用
[P].
周元基
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机构:
潍坊星泰克微电子材料有限公司
潍坊星泰克微电子材料有限公司
周元基
.
中国专利
:CN114089602B
,2025-08-01
[4]
正性光刻胶组合物及其制备方法、应用
[P].
周元基
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周元基
.
中国专利
:CN114089602A
,2022-02-25
[5]
正性光刻胶组合物及其应用
[P].
余亮
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机构:
苏州凯芯半导体材料有限公司
苏州凯芯半导体材料有限公司
余亮
;
高晓义
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机构:
苏州凯芯半导体材料有限公司
苏州凯芯半导体材料有限公司
高晓义
;
于洪超
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机构:
苏州凯芯半导体材料有限公司
苏州凯芯半导体材料有限公司
于洪超
.
中国专利
:CN120233631A
,2025-07-01
[6]
一种正性光刻胶组合物及其制备方法
[P].
徐娟
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徐娟
;
周建
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周建
;
王猛
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王猛
.
中国专利
:CN112650025A
,2021-04-13
[7]
一种正性光刻胶及其制备方法和应用
[P].
谢国雄
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机构:
广州亦盛环保科技有限公司
广州亦盛环保科技有限公司
谢国雄
;
王继冬
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机构:
广州亦盛环保科技有限公司
广州亦盛环保科技有限公司
王继冬
;
邝宁春
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广州亦盛环保科技有限公司
广州亦盛环保科技有限公司
邝宁春
;
李学伟
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机构:
广州亦盛环保科技有限公司
广州亦盛环保科技有限公司
李学伟
.
中国专利
:CN120335238A
,2025-07-18
[8]
正性光刻胶组成物及其制备方法
[P].
杨洪
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杨洪
;
赵晓芳
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赵晓芳
;
郭玲香
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郭玲香
;
林保平
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林保平
.
中国专利
:CN102402119A
,2012-04-04
[9]
一种正性光刻胶组合物
[P].
何卿
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何卿
;
胡凡华
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胡凡华
;
朴大然
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朴大然
;
卢克军
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卢克军
;
张宁
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张宁
.
中国专利
:CN113946099A
,2022-01-18
[10]
一种正性光刻胶组合物
[P].
何卿
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机构:
北京北旭电子材料有限公司
北京北旭电子材料有限公司
何卿
;
胡凡华
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机构:
北京北旭电子材料有限公司
北京北旭电子材料有限公司
胡凡华
;
朴大然
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机构:
北京北旭电子材料有限公司
北京北旭电子材料有限公司
朴大然
;
卢克军
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机构:
北京北旭电子材料有限公司
北京北旭电子材料有限公司
卢克军
;
张宁
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机构:
北京北旭电子材料有限公司
北京北旭电子材料有限公司
张宁
.
中国专利
:CN113946099B
,2024-07-05
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