縦枠部、マスク保持装置及びマスク保持方法[ja]

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申请号
JP20240086707
申请日
2024-05-28
公开(公告)号
JP2025179761A
公开(公告)日
2025-12-10
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
G03F1/68
IPC分类号
G01B17/00 G03F1/84
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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