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縦枠部、マスク保持装置及びマスク保持方法[ja]
被引:0
申请号
:
JP20240086707
申请日
:
2024-05-28
公开(公告)号
:
JP2025179761A
公开(公告)日
:
2025-12-10
发明(设计)人
:
申请人
:
申请人地址
:
IPC主分类号
:
G03F1/68
IPC分类号
:
G01B17/00
G03F1/84
代理机构
:
代理人
:
法律状态
:
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
共 50 条
[1]
マスク保持装置、露光装置、マスク保持方法、及び露光方法[ja]
[P].
日本专利
:JP6981513B2
,2021-12-15
[2]
マスク保持装置[ja]
[P].
日本专利
:JP6485575B2
,2019-03-20
[3]
マスク保持装置[ja]
[P].
日本专利
:JP6606479B2
,2019-11-13
[4]
マスク移動装置、マスク保持装置、露光装置及び基板処理装置[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2013150898A1
,2015-12-17
[5]
マスク搬送装置、マスク保持装置、マスク基板、基板処理装置、及びデバイス製造方法[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2013145800A1
,2015-12-10
[6]
マスク搬送装置、マスク保持装置、基板処理装置、及びデバイス製造方法[ja]
[P].
日本专利
:JP6048493B2
,2016-12-21
[7]
ディスク保持装置[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2003031284A1
,2005-01-20
[8]
ディスク保持装置[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2001088914A1
,2004-01-08
[9]
ディスク支持装置、ディスク保持装置及びディスク装置[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2002049028A1
,2004-04-15
[10]
マスク保持装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、デバイス製造方法、マスク保持方法、及び露光方法[ja]
[P].
日本专利
:JP6778402B2
,2020-11-04
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