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锍盐、化学增幅抗蚀剂组成物及图案形成方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202511332818.8
申请日：
2025-09-18
公开(公告)号：
CN121226209A
公开(公告)日：
2025-12-30
发明(设计)人：
福岛将大
申请人：
信越化学工业株式会社
申请人地址：
日本
IPC主分类号：
C07C381/12
IPC分类号：
G03F7/20 G03F7/004 C07D493/08 C07D495/08 C07D307/42 C07D319/12 C07D333/16 C07D335/02 C07D339/08 C07D307/12 C07D333/76 C07D335/12 C07D327/08 C07D279/20 C07D335/16 C07D409/12 C07D417/12 C07D411/12
代理机构：
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277
代理人：
李茂家;李恩华
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-12-30 公开 公开
共 50 条
[1]
锍盐、化学增幅抗蚀剂组成物及图案形成方法 [P]. 
福岛将大 .
日本专利 :CN121226212A ,2025-12-30
[2]
锍盐、化学增幅抗蚀剂组成物及图案形成方法 [P]. 
福岛将大 .
日本专利 :CN121226211A ,2025-12-30
[3]
鎓盐、化学增幅抗蚀剂组成物及图案形成方法 [P]. 
福岛将大 ;
樋田源太郎 .
日本专利 :CN120829378A ,2025-10-24
[4]
鎓盐、化学增幅抗蚀剂组成物及图案形成方法 [P]. 
福岛将大 .
日本专利 :CN120504646A ,2025-08-19
[5]
鎓盐、化学增幅抗蚀剂组成物及图案形成方法 [P]. 
福岛将大 ;
畠山润 .
日本专利 :CN118878505A ,2024-11-01
[6]
鎓盐、化学增幅抗蚀剂组成物及图案形成方法 [P]. 
福岛将大 .
日本专利 :CN121064080A ,2025-12-05
[7]
鎓盐、化学增幅抗蚀剂组成物及图案形成方法 [P]. 
福岛将大 .
日本专利 :CN117886728A ,2024-04-16
[8]
鎓盐、化学增幅抗蚀剂组成物、及图案形成方法 [P]. 
福岛将大 ;
渡边朝美 ;
山田健司 .
日本专利 :CN117586162A ,2024-02-23
[9]
鎓盐、化学增幅抗蚀剂组成物及图案形成方法 [P]. 
福岛将大 .
日本专利 :CN120590366A ,2025-09-05
[10]
鎓盐、化学增幅抗蚀剂组成物及图案形成方法 [P]. 
福岛将大 ;
畠山润 ;
木村纯也 .
日本专利 :CN120504621A ,2025-08-19
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