清洗治具及杯体清洗方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202511355541.0

申请日：

2025-09-22

公开(公告)号：

CN121103794A

公开(公告)日：

2025-12-12

发明(设计)人：

刘凯宁任洪麟王丽鹤张怀东

申请人：

沈阳芯源微电子设备股份有限公司

申请人地址：

110180 辽宁省沈阳市浑南区飞云路16号

IPC主分类号：

B08B9/093

IPC分类号：

代理机构：

上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286

代理人：

史永亮;吴浩

法律状态：

公开

国省代码：

辽宁省沈阳市

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-12-12	公开	公开
2025-12-30	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B08B 9/093申请日:20250922

共 50 条

[1]

铬版清洗治具及清洗方法 [P].

杜武兵 ;

林伟 ;

黄国勇 .

中国专利 :CN111438133A ,2020-07-24

[2]

基板清洗治具及清洗组件 [P].

高玉玲 ;

徐飞 ;

徐刚刚 .

中国专利 :CN221899986U ,2024-10-25

[3]

清洗治具 [P].

卢芳万 .

中国专利 :CN110791764A ,2020-02-14

[4]

清洗治具 [P].

董才士 ;

李欣和 .

中国专利 :CN101099970A ,2008-01-09

[5]

清洗治具 [P].

董才士 ;

李欣和 .

中国专利 :CN101088637A ,2007-12-19

[6]

多规格光刻版清洗治具 [P].

丁维才 ;

冯靖 .

中国专利 :CN104934352A ,2015-09-23

[7]

清洗箱及清洗箱内壁的清洗方法 [P].

王海宽 ;

林宗贤 ;

吴龙江 ;

郭松辉 ;

吕新强 .

中国专利 :CN107570486B ,2018-01-12

[8]

夹持治具及清洗设备 [P].

肖时旺 ;

杨义平 ;

钟贤芬 ;

党辉 ;

黄子龙 ;

王瑾 ;

吴道奇 ;

高云峰 .

中国专利 :CN218191598U ,2023-01-03

[9]

晶圆清洗装置及清洗方法 [P].

万先进 ;

梁志远 ;

李文超 ;

边逸军 .

中国专利 :CN115228821B ,2024-11-22

[10]

一种自动清洗治具及清洗装置 [P].

张续朋 ;

杨彦伟 .

中国专利 :CN216911427U ,2022-07-08

← 1 2 3 4 5 →