清洗箱及清洗箱内壁的清洗方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710950157.4

申请日：

2017-10-13

公开(公告)号：

CN107570486B

公开(公告)日：

2018-01-12

发明(设计)人：

王海宽林宗贤吴龙江郭松辉吕新强

申请人：

申请人地址：

223300 江苏省淮安市长江东路599号

IPC主分类号：

B08B312

IPC分类号：

B08B308 B08B908 B08B1300 H01L2167

代理机构：

上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294

代理人：

孙佳胤

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-05-29	授权	授权
2018-02-06	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B08B 3/12 申请日:20171013
2018-01-12	公开	公开

共 50 条

[1]

晶圆清洗装置及清洗方法 [P].

万先进 ;

梁志远 ;

李文超 ;

边逸军 .

中国专利 :CN115228821B ,2024-11-22

[2]

探针卡清洗装置 [P].

肖佳明 ;

王永耀 .

中国专利 :CN209969058U ,2020-01-21

[3]

清洗治具及杯体清洗方法 [P].

刘凯宁 ;

任洪麟 ;

王丽鹤 ;

张怀东 .

中国专利 :CN121103794A ,2025-12-12

[4]

弯曲晶圆的清洗液及清洗方法 [P].

葛威威 ;

韩鹏帅 ;

申朋举 ;

葛永恒 ;

葛林四 .

中国专利 :CN113845917B ,2021-12-28

[5]

清洗箱及具有该清洗箱的清洗设备 [P].

李任鹏 ;

何恭育 ;

吕承毓 .

中国专利 :CN105170547A ,2015-12-23

[6]

晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 [P].

李丹 ;

高英哲 ;

崔亚东 ;

张文福 .

中国专利 :CN108213016B ,2018-06-29

[7]

硅片清洗方法及硅片清洗设备 [P].

张鹏奎 .

中国专利 :CN117542762A ,2024-02-09

[8]

硅片清洗设备及硅片清洗方法 [P].

袁松柏 .

中国专利 :CN117878026A ,2024-04-12

[9]

晶片清洗方法及晶片清洗设备 [P].

卢建航 ;

曾广艺 ;

王子荣 ;

韦敏华 ;

许剑勇 .

中国专利 :CN118841312A ,2024-10-25

[10]

清洗装置及清洗方法 [P].

石桥知淳 .

中国专利 :CN104971916B ,2015-10-14

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