DIFFUSION PROFILING USING THE GRADED C(V) METHOD

被引：2

作者：

SHAPPIR, J ^{[1
]}

KOLODNY, A ^{[1
]}

SHACHAMDIAMAND, Y ^{[1
]}

机构：

[1] TECHNION ISRAEL INST TECHNOL,FAC ELECT ENGN,HAIFA,ISRAEL

来源：

关键词：

D O I：

10.1109/T-ED.1980.19970

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：993 / 995

页数：3

共 7 条

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