GROWTH-CONDITIONS OF DEPOSITED SI FILMS IN SOLID-PHASE EPITAXY

被引:37
作者
SAITOH, S
SUGII, T
ISHIWARA, H
FURUKAWA, S
机构
关键词
D O I
10.1143/JJAP.20.L130
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:L130 / L132
页数:3
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